SOI Gofretleri

Kısa Açıklama:

SOI gofreti üç katmanlı sandviç benzeri bir yapıdır;Üst katman (cihaz katmanı), gömülü oksijen katmanının ortası (yalıtım SiO2 katmanı için) ve alt alt katman (yığın silikon) dahil.SOI levhaları, daha ince ve daha doğru cihaz katmanlarına, tekdüze kalınlığa ve düşük kusur yoğunluğuna olanak tanıyan SIMOX yöntemi ve levha bağlama teknolojisi kullanılarak üretilir.


Ürün ayrıntısı

Ürün etiketleri

SOI Gofretleri(1)

Uygulama alanı

1. Yüksek hızlı entegre devre

2. Mikrodalga cihazları

3. Yüksek sıcaklık entegre devre

4. Güç cihazları

5. Düşük güçlü entegre devre

6. MEMS

7. Alçak gerilim entegre devre

Öğe

Argüman

Etraflı

Gofret Çapı
uzunluk (mm)

50/75/100/125/150/200mm±25um

Yay/Çözgü
翘曲度(

<10um

Parçacıklar
颗粒度(

0,3um <30 adet

Daireler/Çentik
定位边/定位槽

Düz veya Çentik

Kenar Hariç Tutma
çap(mm)

/

Cihaz Katmanı
器件层

Cihaz katmanı türü/katkı maddesi
器件层掺杂类型

N-Tipi/P-Tipi
B/ P/ Sb / As

Cihaz Katmanı Yönü
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Cihaz Katmanı Kalınlığı
器件层厚度(um)

0.1~300um

Cihaz Katmanı Direnci
器件层电阻率(ohm•cm)

0,001~100,000 ohm-cm

Cihaz Katmanı Parçacıkları
器件层颗粒度(

<30ea@0.3

Cihaz Katmanı TTV
器件层TTV(

<10um

Cihaz Katmanı Son İşlemi
daha fazla bilgi

Cilalı

KUTU

Gömülü Termal Oksit Kalınlığı
埋氧层厚度(um)

50nm(500Å)~15um

Tutamaç Katmanı
衬底

Kulplu Gofret Tipi/Dopant
衬底层类型

N-Tipi/P-Tipi
B/ P/ Sb / As

Gofret Yönünü Tutacak
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Gofret Direncini Tutmak
衬底电阻率(ohm•cm)

0,001~100,000 ohm-cm

Gofret Kalınlığı Kulp
衬底厚度(um)

>100um

Gofret Kaplama Kulpu
Amerika Birleşik Devletleri

Cilalı

Hedef spesifikasyonlardaki SOI levhaları müşteri gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.

Semicera İşyeri Semicera iş yeri 2

Ekipman makinesiCNN işleme, kimyasal temizleme, CVD kaplama

Servisimiz


  • Öncesi:
  • Sonraki: