Özellikleri ve avantajları
1. Hassas boyutlar ve termal stabilite
2. Yüksek spesifik sertlik ve mükemmel termal tekdüzelik, uzun süreli kullanımın deformasyonu bükmesi kolay değildir;
3.Pürüzsüz bir yüzeye ve iyi bir aşınma direncine sahiptir, bu nedenle çipi parçacık kirliliği olmadan güvenli bir şekilde tutar.
4. Anti-ESD spesifikasyon gereklilikleri doğrultusunda, manyetik olmayan, 106-108Ω'da silikon karbür direnci;Çipin yüzeyinde statik elektrik birikmesini önleyebilir
5.İyi ısı iletkenliği, düşük genleşme katsayısı.