
Uygulama alanı
1. Yüksek hızlı entegre devre
2. Mikrodalga cihazları
3. Yüksek sıcaklık entegre devre
4. Güç cihazları
5. Düşük güçlü entegre devre
6. MEMS
7. Alçak gerilim entegre devre
| Öğe | Argüman | |
| Etraflı | Gofret Çapı | 50/75/100/125/150/200mm±25um |
| Yay/Çözgü | <10um | |
| Parçacıklar | 0,3um <30 adet | |
| Daireler/Çentik | Düz veya Çentik | |
| Kenar Hariç Tutma | / | |
| Cihaz Katmanı | Cihaz katmanı türü/katkı maddesi | N-Tipi/P-Tipi |
| Cihaz Katmanı Yönü | <1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> | |
| Cihaz Katmanı Kalınlığı | 0.1~300um | |
| Cihaz Katmanı Direnci | 0,001~100,000 ohm-cm | |
| Cihaz Katmanı Parçacıkları | <30ea@0.3 | |
| Cihaz Katmanı TTV | <10um | |
| Cihaz Katmanı Son İşlemi | Cilalı | |
| KUTU | Gömülü Termal Oksit Kalınlığı | 50nm(500Å)~15um |
| Tutamaç Katmanı | Kulplu Gofret Tipi/Dopant | N-Tipi/P-Tipi |
| Gofret Yönünü Tutacak | <1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> | |
| Gofret Direncini Tutmak | 0,001~100,000 ohm-cm | |
| Gofret Kalınlığı Kulp | >100um | |
| Gofret Kaplama Kulpu | Cilalı | |
| Hedef spesifikasyonlardaki SOI levhaları müşteri gereksinimlerine göre özelleştirilebilir. | ||











