Uygulama alanı
1. Yüksek hızlı entegre devre
2. Mikrodalga cihazları
3. Yüksek sıcaklık entegre devre
4. Güç cihazları
5. Düşük güçlü entegre devre
6. MEMS
7. Alçak gerilim entegre devre
Öğe | Argüman | |
Etraflı | Gofret Çapı | 50/75/100/125/150/200mm±25um |
Yay/Çözgü | <10um | |
Parçacıklar | 0,3um <30 adet | |
Daireler/Çentik | Düz veya Çentik | |
Kenar Hariç Tutma | / | |
Cihaz Katmanı | Cihaz katmanı türü/katkı maddesi | N-Tipi/P-Tipi |
Cihaz Katmanı Yönü | <1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> | |
Cihaz Katmanı Kalınlığı | 0.1~300um | |
Cihaz Katmanı Direnci | 0,001~100,000 ohm-cm | |
Cihaz Katmanı Parçacıkları | <30ea@0.3 | |
Cihaz Katmanı TTV | <10um | |
Cihaz Katmanı Son İşlemi | Cilalı | |
KUTU | Gömülü Termal Oksit Kalınlığı | 50nm(500Å)~15um |
Tutamaç Katmanı | Kulplu Gofret Tipi/Dopant | N-Tipi/P-Tipi |
Gofret Yönünü Tutacak | <1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> | |
Gofret Direncini Tutmak | 0,001~100,000 ohm-cm | |
Gofret Kalınlığı Kulp | >100um | |
Gofret Kaplama Kulpu | Cilalı | |
Hedef spesifikasyonlardaki SOI levhaları müşteri gereksinimlerine göre özelleştirilebilir. |