Bir silikon levhanın termal oksit tabakası, yüksek sıcaklık koşulları altında bir oksitleyici madde ile bir silikon levhanın çıplak yüzeyinde oluşturulan bir oksit tabakası veya silika tabakasıdır.Silikon levhanın termal oksit tabakası genellikle yatay tüplü bir fırında büyütülür ve büyüme sıcaklığı aralığı genellikle 900 ° C ~ 1200 ° C'dir ve "ıslak oksidasyon" ve "kuru oksidasyon" olmak üzere iki büyüme modu vardır. Termal oksit katmanı, CVD ile biriktirilen oksit katmanından daha yüksek homojenliğe ve daha yüksek dielektrik dayanıma sahip olan "büyümüş" bir oksit katmanıdır. Termal oksit tabakası yalıtkan olarak mükemmel bir dielektrik tabakadır. Birçok silikon bazlı cihazda termal oksit tabakası, katkılı blokaj tabakası ve yüzey dielektrik maddesi olarak önemli bir rol oynar.
İpuçları: Oksidasyon türü
1. Kuru oksidasyon
Silikon oksijenle reaksiyona girer ve oksit tabakası bazal tabakaya doğru hareket eder. Kuru oksidasyonun 850 ila 1200 ° C sıcaklıkta yapılması gerekir ve MOS yalıtım kapısının büyümesi için kullanılabilen büyüme hızı düşüktür. Yüksek kaliteli, ultra ince bir silikon oksit tabakası gerektiğinde, ıslak oksidasyon yerine kuru oksidasyon tercih edilir.
Kuru oksidasyon kapasitesi: 15nm~300nm(150A ~ 3000A)
2. Islak oksidasyon
Bu yöntem, ~1000 °C'de yanmak için hidrojen ve yüksek saflıkta oksijen karışımını kullanır, böylece bir oksit tabakası oluşturmak için su buharı üretilir. Islak oksidasyon, kuru oksidasyon kadar kaliteli bir oksidasyon tabakası oluşturamasa da, izolasyon bölgesi olarak kullanılabilecek kadar yeterli olsa da, kuru oksidasyona göre açık bir avantajı daha yüksek bir büyüme oranına sahip olmasıdır.
Islak oksidasyon kapasitesi: 50nm~ 15μm (500A ~15μm)
3. Kuru yöntem - ıslak yöntem - kuru yöntem
Bu yöntemde, oksidasyon fırınına ilk aşamada saf kuru oksijen salınır, oksidasyonun ortasında hidrojen eklenir ve sonunda hidrojen depolanarak oksidasyona saf kuru oksijenle devam edilerek daha yoğun bir oksidasyon yapısı oluşturulur. su buharı formundaki ortak ıslak oksidasyon işlemi.
4.TEOS oksidasyonu
| Oksidasyon Tekniği | Islak oksidasyon veya Kuru oksidasyon |
| Çap | 2" / 3" / 4" / 6" / 8" / 12" |
| Oksit Kalınlığı | 100 Å ~ 15μm |
| Hoşgörü | +/- %5 |
| Yüzey | Tek Taraflı Oksidasyon(SSO) / Çift Taraflı Oksidasyon(DSO) |
| Fırın | Yatay tüp fırın |
| Gaz | Hidrojen ve Oksijen gazı |
| Sıcaklık | 900°C ~ 1200°C |
| Kırılma indeksi | 1.456 |
