SiC KaplamalıGrafit Yarım Ay Parçasıyarı iletken üretim süreçlerinde, özellikle SiC epitaksiyel ekipmanında kullanılan önemli bir bileşendir.Yarım ay parçasını son derece yüksek saflık, iyi kaplama bütünlüğü ve mükemmel hizmet ömrünün yanı sıra yüksek kimyasal direnç ve termal stabilite özelliklerine sahip yapmak için patentli teknolojimizi kullanıyoruz.
