Silisyum karbür (SiC) tek kristal malzeme, geniş bir bant aralığı genişliğine (~Si 3 kat), yüksek termal iletkenliğe (~Si 3,3 kat veya GaAs 10 kat), yüksek elektron doygunluğu göç hızına (~Si 2,5 kat), yüksek arızalı elektriğe sahiptir. alanı (~Si 10 kat veya GaAs 5 kat) ve diğer olağanüstü özellikler.
Üçüncü nesil yarı iletken malzemeler esas olarak SiC, GaN, elmas vb. içerir, çünkü bant aralığı genişliği (Eg), geniş bant aralıklı yarı iletken malzemeler olarak da bilinen 2,3 elektron volta (eV) eşit veya daha büyüktür. Birinci ve ikinci nesil yarı iletken malzemelerle karşılaştırıldığında, üçüncü nesil yarı iletken malzemeler yüksek termal iletkenlik, yüksek arızalı elektrik alanı, yüksek doymuş elektron göç hızı ve yüksek bağlanma enerjisi gibi avantajlara sahiptir ve modern elektronik teknolojisinin yeni gereksinimlerini yüksek düzeyde karşılayabilir. sıcaklık, yüksek güç, yüksek basınç, yüksek frekans ve radyasyon direnci ve diğer zorlu koşullar. Milli savunma, havacılık, havacılık, petrol arama, optik depolama vb. alanlarda önemli uygulama potansiyeline sahip olup, geniş bant iletişim, güneş enerjisi, otomobil üretimi gibi birçok stratejik endüstride enerji kaybını %50'den fazla azaltabilir. yarı iletken aydınlatma ve akıllı şebeke gibi teknolojiler, ekipman hacmini %75'ten fazla azaltabilir; bu, insan bilimi ve teknolojisinin gelişimi için dönüm noktası niteliğinde bir öneme sahiptir.
Semicera enerji, müşterilere yüksek kaliteli İletken (İletken), Yarı yalıtımlı (Yarı yalıtımlı), HPSI (Yüksek Saflıkta yarı yalıtımlı) silikon karbür alt tabaka; Ayrıca müşterilerimize homojen ve heterojen silisyum karbür epitaksiyel levhalar da sağlayabiliriz; Epitaksiyel tabakayı müşterilerin özel ihtiyaçlarına göre de özelleştirebiliriz ve minimum sipariş miktarı yoktur.
GOFRET ÖZELLİKLERİ
*n-Pm=n-tipi Pm-Sınıfı,n-Ps=n-tipi Ps-Sınıfı,Sl=Yarı Yalıtımlı
| Öğe | 8 inç | 6 inç | 4 inç | ||
| nP | n-Pm | n-P'ler | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| Yay(GF3YFCD)-Mutlak Değer | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
| Çözgü(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
| Gofret Kenarı | Eğim verme | ||||
YÜZEY FİNİŞİ
*n-Pm=n-tipi Pm-Sınıfı,n-Ps=n-tipi Ps-Sınıfı,Sl=Yarı Yalıtım
| öğe | 8 inç | 6 inç | 4 inç | ||
| nP | n-Pm | n-P'ler | SI | SI | |
| Yüzey İşlemi | Çift taraflı Optik Cila, Si-Face CMP | ||||
| Yüzey Pürüzlülüğü | (10um x 10um) Si-YüzRa≤0,2nm C-Yüzü Ra≤ 0,5nm | (5umx5um) Si-Yüz Ra≤0,2nm C-Yüz Ra≤0.5nm | |||
| Kenar Cipsleri | Hiçbiri İzin Verilmez (uzunluk ve genişlik≥0,5 mm) | ||||
| Girintiler | Hiçbirine İzin Verilmez | ||||
| Çizikler(Si-Yüz) | Adet.≤5,Kümülatif Uzunluk≤0,5 × gofret çapı | Adet.≤5,Kümülatif Uzunluk≤0,5 × gofret çapı | Adet.≤5,Kümülatif Uzunluk≤0,5 × gofret çapı | ||
| Çatlaklar | Hiçbirine İzin Verilmez | ||||
| Kenar Hariç Tutma | 3 mm | ||||
