Silisyum karbür kristal büyümesi için termal alan malzemesi – gözenekli tantal karbür

Kısa Açıklama:

Gözenekli tantal karbür esas olarak gaz fazı bileşen filtrasyonu, yerel sıcaklık gradyanının ayarlanması, malzeme akış yönünün yönlendirilmesi, sızıntının kontrol edilmesi vb. için kullanılır. Yerel bileşenler oluşturmak için Semicera Technology'den başka bir katı tantal karbür (kompakt) veya tantal karbür kaplama ile birlikte kullanılabilir. farklı akış iletkenliğine sahip.

Bize e-posta gönder

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Semicera, çeşitli bileşenler ve taşıyıcılar için özel tantal karbür (TaC) kaplamalar sağlar.Semicera'nın önde gelen kaplama işlemi, tantal karbür (TaC) kaplamaların yüksek saflık, yüksek sıcaklık stabilitesi ve yüksek kimyasal tolerans elde etmesini sağlayarak SIC/GAN kristallerinin ve EPI katmanlarının ürün kalitesini artırır (Grafit kaplı TaC tutucu) ve temel reaktör bileşenlerinin ömrünün uzatılması. Tantal karbür TaC kaplamanın kullanımı, kenar problemini çözmek ve kristal büyüme kalitesini arttırmaktır ve Semicera, tantal karbür kaplama teknolojisini (CVD) çözerek uluslararası ileri seviyeye ulaşarak çığır açmıştır.

Yıllar süren geliştirme sürecinin ardından Semicera, teknolojiyi fethettiCVD TaCAr-Ge departmanının ortak çabaları ile. SiC levhaların büyüme sürecinde kusurların oluşması kolaydır, ancak kullanımdan sonraTaCfark önemlidir. Aşağıda TaC içeren ve içermeyen plakaların yanı sıra tek kristal büyütme için Semicera parçalarının bir karşılaştırması bulunmaktadır.

Tek kristalin büyümesi için Tac parçası

Aşınma önleyici tantal karbür kaplama_ Ekipmanı aşınma ve korozyona karşı korur Öne Çıkan Resim

TaC kaplı halkalı grafit

TaC ile ve TaC olmadan

TaC kullandıktan sonra (sağda)

Ayrıca Semicera'nın TaC kaplama ürünlerinin servis ömrü SiC kaplamaya göre daha uzun ve yüksek sıcaklığa daha dayanıklıdır. Uzun süreli laboratuvar ölçüm verilerinden sonra TaC'miz maksimum 2300 santigrat derecede uzun süre çalışabilir. Örneklerimizden bazıları şunlardır: