Tantal karbür kaplı askı destek plakasıince bir tabaka ile kaplanmış bir tutucu veya destek yapısıdır.tantal karbür. Bu kaplama, fiziksel buhar biriktirme (PVD) veya kimyasal buhar biriktirme (CVD) gibi tekniklerle, suseptör yüzeyinde oluşturulabilir ve bu, suseptöre üstün özellikler kazandırır.tantal karbür.
Semicera, çeşitli bileşenler ve taşıyıcılar için özel tantal karbür (TaC) kaplamalar sağlar.Semicera'nın önde gelen kaplama işlemi, tantal karbür (TaC) kaplamaların yüksek saflık, yüksek sıcaklık stabilitesi ve yüksek kimyasal tolerans elde etmesini sağlayarak SIC/GAN kristallerinin ve EPI katmanlarının ürün kalitesini artırır (Grafit kaplı TaC tutucu) ve temel reaktör bileşenlerinin ömrünün uzatılması. Tantal karbür TaC kaplamanın kullanımı, kenar problemini çözmek ve kristal büyüme kalitesini arttırmaktır ve Semicera, tantal karbür kaplama teknolojisini (CVD) çözerek uluslararası ileri seviyeye ulaşarak çığır açmıştır.
Yıllar süren geliştirme sürecinin ardından Semicera, teknolojiyi fethettiCVD TaCAr-Ge departmanının ortak çabaları ile. SiC levhaların büyüme sürecinde kusurların oluşması kolaydır, ancak kullanımdan sonraTaCfark önemlidir. Aşağıda TaC içeren ve içermeyen gofretlerin yanı sıra tek kristal büyümesi için Simicera parçalarının bir karşılaştırması bulunmaktadır.
Tantal karbür kaplı taban destek plakalarının ana özellikleri şunları içerir:
1. Yüksek sıcaklık stabilitesi: Tantal karbür mükemmel yüksek sıcaklık stabilitesine sahiptir ve kaplamalı taban destek plakasını yüksek sıcaklıktaki çalışma ortamlarındaki destek ihtiyaçlarına uygun hale getirir.
2. Korozyon direnci: Tantal karbür kaplama iyi bir korozyon direncine sahiptir, kimyasal korozyona ve oksidasyona direnebilir ve tabanın servis ömrünü uzatabilir.
3. Yüksek sertlik ve aşınma direnci: Tantal karbür kaplamanın yüksek sertliği, taban destek plakasına yüksek aşınma direnci gerektiren durumlar için uygun olan iyi bir aşınma direnci sağlar.
4. Kimyasal stabilite: Tantal karbür çeşitli kimyasal maddelere karşı yüksek stabiliteye sahiptir, bu da kaplanmış taban destek plakasının bazı aşındırıcı ortamlarda iyi performans göstermesini sağlar.
TaC ile ve TaC olmadan
TaC kullandıktan sonra (sağda)
Ayrıca Semicera'nınTaC kaplı ürünlerkarşılaştırıldığında daha uzun bir servis ömrü ve daha fazla yüksek sıcaklık direnci sergiler.SiC kaplamalar.Laboratuvar ölçümleri şunu gösterdi:TaC kaplamalarUzun süre boyunca 2300 santigrat dereceye kadar sıcaklıklarda tutarlı bir şekilde performans gösterebilir. Aşağıda örneklerimizden bazı örnekleri bulabilirsiniz:
