Tantal karbür kaplı grafit levhaince bir tabakaya sahip bir grafit malzemedirtantal karbürSubstratın yüzeyinde. İnce tantal karbür tabakası genellikle grafit substratın yüzeyinde fiziksel buhar biriktirme (PVD) veya kimyasal buhar biriktirme (CVD) gibi tekniklerle oluşturulur. Bu kaplama, yüksek sertlik, mükemmel aşınma direnci, korozyon direnci ve yüksek sıcaklık stabilitesi gibi mükemmel özelliklere sahiptir.
Semicera, çeşitli bileşenler ve taşıyıcılar için özel tantal karbür (TaC) kaplamalar sağlar.Semicera'nın önde gelen kaplama işlemi, tantal karbür (TaC) kaplamaların yüksek saflık, yüksek sıcaklık stabilitesi ve yüksek kimyasal tolerans elde etmesini sağlayarak SIC/GAN kristallerinin ve EPI katmanlarının ürün kalitesini artırır (Grafit kaplı TaC tutucu) ve temel reaktör bileşenlerinin ömrünün uzatılması. Tantal karbür TaC kaplamanın kullanımı, kenar problemini çözmek ve kristal büyüme kalitesini arttırmaktır ve Semicera, tantal karbür kaplama teknolojisini (CVD) çözerek uluslararası ileri seviyeye ulaşarak çığır açmıştır.
Yıllar süren geliştirme sürecinin ardından Semicera, teknolojiyi fethettiCVD TaCAr-Ge departmanının ortak çabaları ile. SiC levhaların büyüme sürecinde kusurların oluşması kolaydır, ancak kullanımdan sonraTaCfark önemlidir. Aşağıda TaC içeren ve içermeyen gofretlerin yanı sıra tek kristal büyümesi için Simicera parçalarının bir karşılaştırması bulunmaktadır.
Tantal karbür kaplı grafit levhanın ana avantajları şunlardır:
1. Yüksek sıcaklık dayanımı: Tantal karbür, yüksek erime noktasına ve mükemmel yüksek sıcaklık stabilitesine sahiptir, bu da kaplanmış grafit levhayı yüksek sıcaklık ortamlarında kullanıma uygun hale getirir.
2. Korozyon direnci: Tantal karbür kaplama, birçok kimyasal aşındırıcı maddenin aşınmasına karşı koyabilir ve malzemenin ömrünü uzatabilir.
3. Yüksek sertlik: Tantal karbür ince tabakasının yüksek sertliği, iyi aşınma direnci sağlar ve yüksek aşınma direnci gerektiren uygulamalar için uygundur.
4. Kimyasal stabilite: Tantal karbür kaplama, kimyasal korozyona karşı mükemmel stabiliteye sahiptir ve bazı aşındırıcı ortamlarda kullanıma uygundur.
TaC ile ve TaC olmadan
TaC kullandıktan sonra (sağda)
Ayrıca Semicera'nınTaC kaplı ürünlerkarşılaştırıldığında daha uzun bir servis ömrü ve daha fazla yüksek sıcaklık direnci sergiler.SiC kaplamalar.Laboratuvar ölçümleri şunu gösterdi:TaC kaplamalarUzun süre boyunca 2300 santigrat dereceye kadar sıcaklıklarda tutarlı bir şekilde performans gösterebilir. Aşağıda örneklerimizden bazı örnekleri bulabilirsiniz:
