Semicera, çeşitli bileşenler ve taşıyıcılar için özel tantal karbür (TaC) kaplamalar sağlar.Semicera'nın önde gelen kaplama işlemi, tantal karbür (TaC) kaplamaların yüksek saflık, yüksek sıcaklık stabilitesi ve yüksek kimyasal tolerans elde etmesini sağlayarak SIC/GAN kristallerinin ve EPI katmanlarının ürün kalitesini artırır (Grafit kaplı TaC tutucu) ve temel reaktör bileşenlerinin ömrünün uzatılması. Tantal karbür TaC kaplamanın kullanımı, kenar problemini çözmek ve kristal büyüme kalitesini arttırmaktır ve Semicera, tantal karbür kaplama teknolojisini (CVD) çözerek uluslararası ileri seviyeye ulaşarak çığır açmıştır.
Tantal karbür kaplı levha taşıyıcıları, yarı iletken üretim süreçlerinde levha işleme ve taşıma işlemlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Üretim süreci sırasında levhaların güvenliğini, doğruluğunu ve tutarlılığını sağlamak için istikrarlı destek ve koruma sağlarlar. Tantal karbür kaplamalar taşıyıcının hizmet ömrünü uzatabilir, maliyetleri azaltabilir ve yarı iletken ürünlerin kalitesini ve güvenilirliğini artırabilir.
Tantal karbür kaplı levha taşıyıcının açıklaması aşağıdaki gibidir:
1. Malzeme seçimi: Tantal karbür mükemmel performansa, yüksek sertliğe, yüksek erime noktasına, korozyon direncine ve mükemmel mekanik özelliklere sahip bir malzemedir, bu nedenle yarı iletken üretim sürecinde yaygın olarak kullanılır.
2. Yüzey kaplama: Tantal karbür kaplama, düzgün ve yoğun bir tantal karbür kaplama oluşturmak için levha taşıyıcının yüzeyine özel bir kaplama işlemi yoluyla uygulanır. Bu kaplama, iyi bir termal iletkenliğe sahip olmasının yanı sıra ek koruma ve aşınma direnci de sağlayabilir.
3. Düzlük ve hassasiyet: Tantal karbür kaplamalı levha taşıyıcısı, üretim süreci sırasında levhaların stabilitesini ve doğruluğunu garanti eden yüksek derecede düzlük ve hassasiyete sahiptir. Taşıyıcı yüzeyin düzlüğü ve cilası, levhanın kalitesini ve performansını sağlamak için kritik öneme sahiptir.
4. Sıcaklık stabilitesi: Tantal karbür kaplı levha taşıyıcıları, yüksek sıcaklıktaki ortamlarda deformasyon veya gevşeme olmadan stabiliteyi koruyabilir, yüksek sıcaklık proseslerinde levhaların stabilitesini ve tutarlılığını sağlar.
5. Korozyon direnci: Tantal karbür kaplamalar mükemmel korozyon direncine sahiptir, kimyasalların ve solventlerin aşınmasına karşı koyabilir ve taşıyıcıyı sıvı ve gaz korozyonundan koruyabilir.
TaC ile ve TaC olmadan
TaC kullandıktan sonra (sağda)
Ayrıca Semicera'nınTaC kaplı ürünlerkarşılaştırıldığında daha uzun bir servis ömrü ve daha fazla yüksek sıcaklık direnci sergiler.SiC kaplamalar.Laboratuvar ölçümleri şunu gösterdi:TaC kaplamalarUzun süre boyunca 2300 santigrat dereceye kadar sıcaklıklarda tutarlı bir şekilde performans gösterebilir. Aşağıda örneklerimizden bazı örnekleri bulabilirsiniz:
