TaC Kaplamalı Plaka, SiC epitaksiyel işlemlerde kullanılmak üzere tasarlanmış, yüksek kaliteli grafit malzemeden hassasiyetle hazırlanmış özel bir disktir. Yüzeyi, olağanüstü saflığı ve gücüyle bilinen bir bileşik olan tantal karbür (TaC) ile titizlikle kaplanmıştır. TaC kaplama, plakanın dayanıklılığını ve yüksek sıcaklıklara karşı direncini artırarak onu SiC epitaksiyel proseslerin zorlu koşulları için ideal hale getirir.
Bu yenilikçi TaC Kaplamalı Plaka, SiC epitaksiyel işlemlerinde kullanılmak üzere tasarlanmış, yüksek kaliteli grafit malzemeden hassasiyetle hazırlanmış özel bir disktir. TaC Kaplamalı Plaka yüzeyi, olağanüstü saflığı ve gücüyle bilinen bir bileşik olan tantal karbür (TaC) ile titizlikle kaplanmıştır. SiC epitaksiyel büyümesinin çeşitli aşamalarında gofretlerin taşınması için güvenilir bir platform görevi görür. Yüksek saflıkta grafit tabanı sağlam ve atıl bir yüzey sağlarken, TaC kaplaması kimyasal reaksiyonlara ve aşınmaya karşı ekstra bir koruma katmanı ekler.
SemikdönemTaC Kaplamalı Plaka, müşterilerin özel gereksinimlerine göre özelleştirilmiş olup, SiC epitaksiyel sistemleriyle optimum performans ve uyumluluk sağlar. Boyutu, şekli veya diğer özellikleri ne olursa olsun, bu plakalar her uygulamanın benzersiz ihtiyaçlarını karşılayacak şekilde özel olarak tasarlanmıştır.
TaC ile ve TaC olmadan
TaC kullandıktan sonra (sağda)
Ayrıca Semicera'nınTaC kaplı ürünlerkarşılaştırıldığında daha uzun bir servis ömrü ve daha fazla yüksek sıcaklık direnci sergiler.SiC kaplamalar.Laboratuvar ölçümleri şunu gösterdi:TaC kaplamalarUzun süre boyunca 2300 santigrat dereceye kadar sıcaklıklarda tutarlı bir şekilde performans gösterebilir. Aşağıda örneklerimizden bazı örnekleri bulabilirsiniz:
