TaC kaplamaGenellikle metal organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) teknolojisi ile grafit bazında hazırlanan önemli bir malzeme kaplamasıdır. Bu kaplama, yüksek sertlik, mükemmel aşınma direnci, yüksek sıcaklık direnci ve kimyasal stabilite gibi mükemmel özelliklere sahiptir ve yüksek talep gören çeşitli mühendislik uygulamaları için uygundur.
MOCVD teknolojisi, metal organik öncülleri yüksek sıcaklıklarda reaktif gazlarla reaksiyona sokarak istenen bileşik filmi substrat yüzeyinde biriktiren, yaygın olarak kullanılan bir ince film büyütme teknolojisidir. HazırlanırkenTaC kaplamauygun metal organik öncüllerin ve karbon kaynaklarının seçilmesi, reaksiyon koşullarının ve biriktirme parametrelerinin kontrol edilmesiyle, grafit bazında düzgün ve yoğun bir TaC filmi biriktirilebilir.
Semicera, çeşitli bileşenler ve taşıyıcılar için özel tantal karbür (TaC) kaplamalar sağlar.Semicera'nın önde gelen kaplama işlemi, tantal karbür (TaC) kaplamaların yüksek saflık, yüksek sıcaklık stabilitesi ve yüksek kimyasal tolerans elde etmesini sağlayarak SIC/GAN kristallerinin ve EPI katmanlarının ürün kalitesini artırır (Grafit kaplı TaC tutucu) ve temel reaktör bileşenlerinin ömrünün uzatılması. Tantal karbür TaC kaplamanın kullanımı, kenar problemini çözmek ve kristal büyüme kalitesini arttırmaktır ve Semicera, tantal karbür kaplama teknolojisini (CVD) çözerek uluslararası ileri seviyeye ulaşarak çığır açmıştır.
Yıllar süren geliştirme sürecinin ardından Semicera, teknolojiyi fethettiCVD TaCAr-Ge departmanının ortak çabaları ile. SiC levhaların büyüme sürecinde kusurların oluşması kolaydır, ancak kullanımdan sonraTaCfark önemlidir. Aşağıda TaC içeren ve içermeyen gofretlerin yanı sıra tek kristal büyümesi için Simicera parçalarının bir karşılaştırması bulunmaktadır.
TaC ile ve TaC olmadan
TaC kullandıktan sonra (sağda)
Ayrıca Semicera'nınTaC kaplı ürünlerkarşılaştırıldığında daha uzun bir servis ömrü ve daha fazla yüksek sıcaklık direnci sergiler.SiC kaplamalar.Laboratuvar ölçümleri şunu gösterdi:TaC kaplamalarUzun süre boyunca 2300 santigrat dereceye kadar sıcaklıklarda tutarlı bir şekilde performans gösterebilir. Aşağıda örneklerimizden bazı örnekleri bulabilirsiniz:
