CVD TaC Kaplama

CVD TaC Kaplamaya Giriş:

CVD TaC Kaplama, bir alt tabakanın yüzeyine tantal karbür (TaC) kaplamayı biriktirmek için kimyasal buhar biriktirmeyi kullanan bir teknolojidir. Tantal karbür, mükemmel mekanik ve kimyasal özelliklere sahip, yüksek performanslı bir seramik malzemedir. CVD işlemi, gaz reaksiyonu yoluyla alt tabakanın yüzeyinde düzgün bir TaC filmi oluşturur.

Ana özellikler:

Mükemmel sertlik ve aşınma direnci: Tantal karbür son derece yüksek sertliğe sahiptir ve CVD TaC Kaplama, alt tabakanın aşınma direncini önemli ölçüde artırabilir. Bu, kaplamayı kesici takımlar ve kalıplar gibi yüksek aşınmaya sahip ortamlardaki uygulamalar için ideal hale getirir.

Yüksek Sıcaklık Kararlılığı: TaC kaplamalar, 2200°C'ye kadar sıcaklıklarda kritik fırın ve reaktör bileşenlerini korur ve iyi bir stabilite gösterir. Aşırı sıcaklık koşullarında kimyasal ve mekanik stabiliteyi koruyarak, yüksek sıcaklıkta işleme ve yüksek sıcaklıktaki ortamlardaki uygulamalar için uygun hale getirir.

Mükemmel kimyasal stabilite: Tantal karbür, çoğu asit ve alkaliye karşı güçlü korozyon direncine sahiptir ve CVD TaC Kaplama, aşındırıcı ortamlarda alt tabakanın zarar görmesini etkili bir şekilde önleyebilir.

Yüksek erime noktası: Tantal karbürün yüksek bir erime noktası vardır (yaklaşık 3880°C), CVD TaC Kaplamanın aşırı yüksek sıcaklık koşullarında erimeden veya bozulmadan kullanılmasına olanak tanır.

Mükemmel termal iletkenlik: TaC kaplama, yüksek sıcaklıktaki işlemlerde ısının etkili bir şekilde dağıtılmasına ve yerel aşırı ısınmanın önlenmesine yardımcı olan yüksek termal iletkenliğe sahiptir.

Potansiyel uygulamalar:

• Plaka taşıyıcıları, uydu antenleri, duş başlıkları, tavanlar ve tutucular dahil Galyum Nitrür (GaN) ve Silisyum Karbür epitaksiyel CVD reaktör bileşenleri

• Potalar, tohum tutucular, kılavuz halkalar ve filtreler dahil silisyum karbür, galyum nitrür ve alüminyum nitrür (AlN) kristal büyütme bileşenleri

• Rezistanslı ısıtma elemanları, enjeksiyon nozulları, maskeleme halkaları ve sert lehimleme aparatlarını içeren endüstriyel bileşenler

Uygulama özellikleri:

• 2000°C'nin üzerinde sıcaklığa dayanıklı, aşırı sıcaklıklarda çalışmaya olanak sağlar
•Hidrojen (Hz), amonyak (NH3), monosilan (SiH4) ve silikona (Si) karşı dayanıklı olup zorlu kimyasal ortamlarda koruma sağlar
• Termal şok direnci daha hızlı çalışma döngülerine olanak tanır
• Grafit güçlü bir yapışma özelliğine sahiptir, uzun bir hizmet ömrü sağlar ve kaplamada delaminasyon oluşmaz.
• Gereksiz yabancı maddeleri veya kirletici maddeleri ortadan kaldırmak için ultra yüksek saflık
• Sıkı boyut toleranslarına uygun kaplama kapsamı

Teknik özellikler:

CVD ile yoğun tantal karbür kaplamaların hazırlanması: