TaC kaplı grafit kılavuz halkalarıince bir tabakanın birikmesine bakıntantal karbürAşınma direncini, yüksek sıcaklık direncini ve kimyasal stabiliteyi geliştirmek için bir grafit kılavuz halkasının yüzeyinde. Bu kaplama genellikle bir grafit kılavuz halkasının yüzeyinde fiziksel buhar biriktirme (PVD) veya kimyasal buhar biriktirme (CVD) gibi tekniklerle oluşturulur.
Semicera, çeşitli bileşenler ve taşıyıcılar için özel tantal karbür (TaC) kaplamalar sağlar.Semicera'nın önde gelen kaplama işlemi, tantal karbür (TaC) kaplamaların yüksek saflık, yüksek sıcaklık stabilitesi ve yüksek kimyasal tolerans elde etmesini sağlayarak SIC/GAN kristallerinin ve EPI katmanlarının ürün kalitesini artırır (Grafit kaplı TaC tutucu) ve temel reaktör bileşenlerinin ömrünün uzatılması. Tantal karbür TaC kaplamanın kullanımı, kenar problemini çözmek ve kristal büyüme kalitesini arttırmaktır ve Semicera, tantal karbür kaplama teknolojisini (CVD) çözerek uluslararası ileri seviyeye ulaşarak çığır açmıştır.
Yıllar süren geliştirme sürecinin ardından Semicera, teknolojiyi fethettiCVD TaCAr-Ge departmanının ortak çabaları ile. SiC levhaların büyüme sürecinde kusurların oluşması kolaydır, ancak kullanımdan sonraTaCfark önemlidir. Aşağıda TaC içeren ve içermeyen gofretlerin yanı sıra tek kristal büyümesi için Simicera parçalarının bir karşılaştırması bulunmaktadır.
TaC kaplı grafit kılavuz halkaların ana özellikleri şunları içerir:
1. Yüksek sıcaklık dayanımı: TaC kaplama mükemmel yüksek sıcaklık stabilitesine sahiptir ve yüksek sıcaklık ortamlarında stabiliteyi koruyabilir.
2. Aşınma direnci: Tantal karbür ince tabakasının yüksek sertliği, kılavuz halkasına iyi bir aşınma direnci sağlar ve servis ömrünü uzatır.
3. Kimyasal stabilite: TaC kaplamanın kimyasal korozyona karşı yüksek stabilitesi vardır, bu da onu bazı korozif ortamlardaki uygulamalar için uygun kılar.
4. Sürtünmeyi azaltın: TaC kaplama, grafit kılavuz halkası ile diğer bileşenler arasındaki sürtünmeyi etkili bir şekilde azaltabilir ve mekanik contaların verimliliğini artırabilir.
TaC ile ve TaC olmadan
TaC kullandıktan sonra (sağda)
Ayrıca Semicera'nınTaC kaplı ürünlerkarşılaştırıldığında daha uzun bir servis ömrü ve daha fazla yüksek sıcaklık direnci sergiler.SiC kaplamalar.Laboratuvar ölçümleri şunu gösterdi:TaC kaplamalarUzun süre boyunca 2300 santigrat dereceye kadar sıcaklıklarda tutarlı bir şekilde performans gösterebilir. Aşağıda örneklerimizden bazı örnekleri bulabilirsiniz:
