TaC kaplı epitaksiyel gofret taşıyıcılarıgenellikle yüksek performanslı optoelektronik cihazların, güç cihazlarının, sensörlerin ve diğer alanların hazırlanmasında kullanılır. Buepitaksiyel gofret taşıyıcıbiriktirilmesini ifade ederTaCsonraki cihaz hazırlığı için spesifik yapıya ve performansa sahip bir levha oluşturmak üzere kristal büyütme işlemi sırasında substrat üzerinde ince bir film.
Kimyasal buhar biriktirme (CVD) teknolojisi genellikle hazırlamak için kullanılır.TaC kaplı epitaksiyel gofret taşıyıcıları. Metal organik öncüleri ve karbon kaynaklı gazları yüksek sıcaklıkta reaksiyona sokarak, kristal substratın yüzeyinde bir TaC filmi biriktirilebilir. Bu film mükemmel elektriksel, optik ve mekanik özelliklere sahip olabilir ve çeşitli yüksek performanslı cihazların hazırlanmasına uygundur.
Semicera, çeşitli bileşenler ve taşıyıcılar için özel tantal karbür (TaC) kaplamalar sağlar.Semicera'nın önde gelen kaplama işlemi, tantal karbür (TaC) kaplamaların yüksek saflık, yüksek sıcaklık stabilitesi ve yüksek kimyasal tolerans elde etmesini sağlayarak SIC/GAN kristallerinin ve EPI katmanlarının ürün kalitesini artırır (Grafit kaplı TaC tutucu) ve temel reaktör bileşenlerinin ömrünün uzatılması. Tantal karbür TaC kaplamanın kullanımı, kenar problemini çözmek ve kristal büyüme kalitesini arttırmaktır ve Semicera, tantal karbür kaplama teknolojisini (CVD) çözerek uluslararası ileri seviyeye ulaşarak çığır açmıştır.
Yıllar süren geliştirme sürecinin ardından Semicera, teknolojiyi fethettiCVD TaCAr-Ge departmanının ortak çabaları ile. SiC levhaların büyüme sürecinde kusurların oluşması kolaydır, ancak kullanımdan sonraTaCfark önemlidir. Aşağıda TaC içeren ve içermeyen gofretlerin yanı sıra tek kristal büyümesi için Simicera parçalarının bir karşılaştırması bulunmaktadır.
TaC ile ve TaC olmadan
TaC kullandıktan sonra (sağda)
Ayrıca Semicera'nınTaC kaplı ürünlerkarşılaştırıldığında daha uzun bir servis ömrü ve daha fazla yüksek sıcaklık direnci sergiler.SiC kaplamalar.Laboratuvar ölçümleri şunu gösterdi:TaC kaplamalarUzun süre boyunca 2300 santigrat dereceye kadar sıcaklıklarda tutarlı bir şekilde performans gösterebilir. Aşağıda örneklerimizden bazı örnekleri bulabilirsiniz:
