Semicera'nın SiN Seramik Düz Yüzeyleri çeşitli elektronik ve endüstriyel uygulamalar için yüksek performanslı bir çözüm sunar. Mükemmel termal iletkenlikleri ve mekanik dayanıklılıklarıyla bilinen bu alt tabakalar, zorlu ortamlarda güvenilir çalışmayı garanti eder.
SiN (Silikon Nitrür) seramiklerimiz aşırı sıcaklıklara ve yüksek stres koşullarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır ve bu da onları yüksek güçlü elektronikler ve gelişmiş yarı iletken cihazlar için uygun kılar. Dayanıklılıkları ve termal şoklara karşı dirençleri, onları güvenilirliğin ve performansın kritik olduğu uygulamalarda kullanım için ideal kılar.
Semicera'nın hassas üretim süreçleri, her düz alt tabakanın sıkı kalite standartlarını karşılamasını sağlar. Bu, elektronik düzeneklerde ve sistemlerde optimum performansa ulaşmak için gerekli olan tutarlı kalınlık ve yüzey kalitesine sahip alt tabakalar ile sonuçlanır.
SiN Seramik Düz Yüzeyler, termal ve mekanik avantajlarının yanı sıra mükemmel elektriksel yalıtım özellikleri sunar. Bu, minimum düzeyde elektriksel parazit sağlar ve elektronik bileşenlerin genel stabilitesine ve verimliliğine katkıda bulunarak çalışma ömrünü uzatır.
Semicera'nın SiN Seramik Düz Yüzeylerini seçerek ileri malzeme bilimini birinci sınıf üretimle birleştiren bir ürün seçmiş oluyorsunuz. Kaliteye ve yeniliğe olan bağlılığımız, en yüksek endüstri standartlarını karşılayan ve ileri teknoloji projelerinizin başarısını destekleyen alt tabakalar almanızı garanti eder.
| Öğeler | Üretme | Araştırma | kukla |
| Kristal Parametreleri | |||
| Politip | 4H | ||
| Yüzey yönlendirme hatası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriksel Parametreler | |||
| katkı maddesi | n-tipi Azot | ||
| Direnç | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanik Parametreler | |||
| Çap | 150,0±0,2 mm | ||
| Kalınlık | 350±25 mikron | ||
| Birincil düz yönlendirme | [1-100]±5° | ||
| Birincil düz uzunluk | 47,5±1,5 mm | ||
| İkincil daire | Hiçbiri | ||
| TTV | ≤5 mikron | ≤10 mikron | ≤15 mikron |
| YBD | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çözgü | ≤35 mikron | ≤45 mikron | ≤55 mikron |
| Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Yapı | |||
| Mikro boru yoğunluğu | <1 adet/cm2 | <10 adet/cm2 | <15 adet/cm2 |
| Metal yabancı maddeleri | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 adet/cm2 | ≤3000 adet/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 adet/cm2 | ≤1000 adet/cm2 | NA |
| Ön Kalite | |||
| Ön | Si | ||
| Yüzey kalitesi | Si-yüzlü CMP | ||
| Parçacıklar | ≤60ea/wafer (boyut≥0,3μm) | NA | |
| çizikler | ≤5 adet/mm. Kümülatif uzunluk ≤Çap | Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA |
| Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik | Hiçbiri | NA | |
| Kenar talaşları/girintiler/kırık/altıgen plakalar | Hiçbiri | ||
| Çok tipli alanlar | Hiçbiri | Kümülatif alan≤%20 | Kümülatif alan≤30% |
| Ön lazer markalama | Hiçbiri | ||
| Arka Kalite | |||
| Arka kaplama | C-yüzlü CMP | ||
| çizikler | ≤5ea/mm, Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA | |
| Sırt kusurları (kenar talaşları/girintiler) | Hiçbiri | ||
| Sırt pürüzlülüğü | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Arka lazer markalama | 1 mm (üst kenardan) | ||
| Kenar | |||
| Kenar | Pah | ||
| Ambalajlama | |||
| Ambalajlama | Vakumlu paketleme ile epi-hazır Çoklu gofret kaset ambalajı | ||
| *Notlar: "NA" talep olmadığı anlamına gelir. Belirtilmeyen öğeler YARI-STD'ye atıfta bulunabilir. | |||
