Yalıtkan Gofretlerdeki SilikonSemicera'nın yüksek performanslı yarı iletken çözümlerine yönelik artan talebi karşılamak üzere tasarlanmıştır. SOI levhalarımız üstün elektriksel performans ve azaltılmış parazit cihaz kapasitansı sunarak onları MEMS cihazları, sensörler ve entegre devreler gibi gelişmiş uygulamalar için ideal kılar. Semicera'nın gofret üretimindeki uzmanlığı her birininSOI gofretiyeni nesil teknoloji ihtiyaçlarınız için güvenilir, kaliteli sonuçlar sağlar.
BizimYalıtkan Gofretlerdeki Silikonmaliyet etkinliği ve performans arasında optimum dengeyi sunar. Soi gofret maliyetinin giderek daha rekabetçi hale gelmesiyle birlikte, bu gofretler mikroelektronik ve optoelektronik de dahil olmak üzere bir dizi endüstride yaygın olarak kullanılmaktadır. Semicera'nın yüksek hassasiyetli üretim süreci, levhaların üstün bağlanmasını ve tekdüzeliğini garanti ederek, onları boşluklu SOI levhalardan standart silikon levhalara kadar çeşitli uygulamalar için uygun hale getirir.
Temel Özellikler:
•MEMS ve diğer uygulamalarda performans için optimize edilmiş yüksek kaliteli SOI plakaları.
•Kaliteden ödün vermeden gelişmiş çözümler arayan işletmeler için rekabetçi soi gofret maliyeti.
•Yalıtkan sistemlerde silikonda gelişmiş elektriksel izolasyon ve verimlilik sunan en ileri teknolojiler için idealdir.
BizimYalıtkan Gofretlerdeki Silikonyarı iletken teknolojisindeki bir sonraki yenilik dalgasını destekleyen yüksek performanslı çözümler sunmak üzere tasarlanmıştır. İster boşluk üzerinde çalışıyor olunSOI gofretleri, MEMS cihazları veya yalıtkan bileşenler üzerindeki silikon ile Semicera, sektördeki en yüksek standartları karşılayan levhalar sunar.
| Öğeler | Üretme | Araştırma | kukla |
| Kristal Parametreleri | |||
| Politip | 4H | ||
| Yüzey yönlendirme hatası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriksel Parametreler | |||
| katkı maddesi | n-tipi Azot | ||
| Direnç | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanik Parametreler | |||
| Çap | 150,0±0,2 mm | ||
| Kalınlık | 350±25 mikron | ||
| Birincil düz yönlendirme | [1-100]±5° | ||
| Birincil düz uzunluk | 47,5±1,5 mm | ||
| İkincil daire | Hiçbiri | ||
| TTV | ≤5 mikron | ≤10 mikron | ≤15 mikron |
| YBD | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çözgü | ≤35 mikron | ≤45 mikron | ≤55 mikron |
| Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Yapı | |||
| Mikro boru yoğunluğu | <1 adet/cm2 | <10 adet/cm2 | <15 adet/cm2 |
| Metal yabancı maddeleri | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 adet/cm2 | ≤3000 adet/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 adet/cm2 | ≤1000 adet/cm2 | NA |
| Ön Kalite | |||
| Ön | Si | ||
| Yüzey kalitesi | Si-yüzlü CMP | ||
| Parçacıklar | ≤60ea/wafer (boyut≥0,3μm) | NA | |
| çizikler | ≤5 adet/mm. Kümülatif uzunluk ≤Çap | Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA |
| Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik | Hiçbiri | NA | |
| Kenar talaşları/girintiler/kırık/altıgen plakalar | Hiçbiri | ||
| Çok tipli alanlar | Hiçbiri | Kümülatif alan≤%20 | Kümülatif alan≤30% |
| Ön lazer markalama | Hiçbiri | ||
| Arka Kalite | |||
| Arka kaplama | C-yüzlü CMP | ||
| çizikler | ≤5ea/mm, Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA | |
| Sırt kusurları (kenar talaşları/girintiler) | Hiçbiri | ||
| Sırt pürüzlülüğü | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Arka lazer markalama | 1 mm (üst kenardan) | ||
| Kenar | |||
| Kenar | Pah | ||
| Ambalajlama | |||
| Ambalajlama | Vakumlu paketleme ile epi-hazır Çoklu gofret kaset ambalajı | ||
| *Notlar: "NA" talep olmadığı anlamına gelir. Belirtilmeyen öğeler YARI-STD'ye atıfta bulunabilir. | |||
