Semicera'nın Silikon Nitrür Seramik Yüzeyi, olağanüstü termal iletkenlik ve sağlam mekanik özellikler sağlayan ileri malzeme teknolojisinin zirvesini temsil eder. Yüksek performanslı uygulamalar için tasarlanan bu alt tabaka, güvenilir termal yönetim ve yapısal bütünlük gerektiren ortamlarda üstün performans gösterir.
Silisyum Nitrür Seramik Yüzeylerimiz aşırı sıcaklıklara ve zorlu koşullara dayanacak şekilde tasarlanmıştır, bu da onları yüksek güçlü ve yüksek frekanslı elektronik cihazlar için ideal kılar. Üstün termal iletkenlikleri, elektronik bileşenlerin performansını ve uzun ömürlülüğünü korumak için çok önemli olan verimli ısı dağılımını sağlar.
Semicera'nın kaliteye olan bağlılığı ürettiğimiz her Silikon Nitrür Seramik Yüzeyde açıkça görülmektedir. Her bir alt tabaka, tutarlı performans ve minimum kusur sağlamak için en son teknolojiye sahip işlemler kullanılarak üretilir. Bu yüksek düzeyde hassasiyet, otomotiv, havacılık ve telekomünikasyon gibi endüstrilerin zorlu taleplerini destekler.
Alt tabakalarımız, termal ve mekanik avantajlarının yanı sıra, elektronik cihazlarınızın genel güvenilirliğine katkıda bulunan mükemmel elektrik yalıtım özellikleri sunar. Semicera'nın Silikon Nitrür Seramik Yüzeyleri, elektriksel paraziti azaltarak ve bileşen stabilitesini artırarak cihaz performansının optimize edilmesinde çok önemli bir rol oynar.
Semicera'nın Silikon Nitrür Seramik Yüzeyini seçmek, hem yüksek performans hem de dayanıklılık sağlayan bir ürüne yatırım yapmak anlamına gelir. Alt tabakalarımız, gelişmiş elektronik uygulamaların ihtiyaçlarını karşılayacak şekilde tasarlanmış olup, cihazlarınızın en son malzeme teknolojisinden ve olağanüstü güvenilirlikten faydalanmasını sağlar.
| Öğeler | Üretme | Araştırma | kukla |
| Kristal Parametreleri | |||
| Politip | 4H | ||
| Yüzey yönlendirme hatası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriksel Parametreler | |||
| katkı maddesi | n-tipi Azot | ||
| Direnç | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanik Parametreler | |||
| Çap | 150,0±0,2 mm | ||
| Kalınlık | 350±25 mikron | ||
| Birincil düz yönlendirme | [1-100]±5° | ||
| Birincil düz uzunluk | 47,5±1,5 mm | ||
| İkincil daire | Hiçbiri | ||
| TTV | ≤5 mikron | ≤10 mikron | ≤15 mikron |
| YBD | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çözgü | ≤35 mikron | ≤45 mikron | ≤55 mikron |
| Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Yapı | |||
| Mikro boru yoğunluğu | <1 adet/cm2 | <10 adet/cm2 | <15 adet/cm2 |
| Metal yabancı maddeleri | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 adet/cm2 | ≤3000 adet/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 adet/cm2 | ≤1000 adet/cm2 | NA |
| Ön Kalite | |||
| Ön | Si | ||
| Yüzey kalitesi | Si-yüzlü CMP | ||
| Parçacıklar | ≤60ea/wafer (boyut≥0,3μm) | NA | |
| çizikler | ≤5 adet/mm. Kümülatif uzunluk ≤Çap | Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA |
| Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik | Hiçbiri | NA | |
| Kenar talaşları/girintiler/kırık/altıgen plakalar | Hiçbiri | ||
| Çok tipli alanlar | Hiçbiri | Kümülatif alan≤%20 | Kümülatif alan≤30% |
| Ön lazer markalama | Hiçbiri | ||
| Arka Kalite | |||
| Arka kaplama | C-yüzlü CMP | ||
| çizikler | ≤5ea/mm, Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA | |
| Sırt kusurları (kenar talaşları/girintiler) | Hiçbiri | ||
| Sırt pürüzlülüğü | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Arka lazer markalama | 1 mm (üst kenardan) | ||
| Kenar | |||
| Kenar | Pah | ||
| Ambalajlama | |||
| Ambalajlama | Vakumlu paketleme ile epi-hazır Çoklu gofret kaset ambalajı | ||
| *Notlar: "NA" talep olmadığı anlamına gelir. Belirtilmeyen öğeler YARI-STD'ye atıfta bulunabilir. | |||
