Ürüne Genel Bakış
Silisyum Emdirilmiş Silisyum Karbür (SiC) Kürek ve Gofret Taşıyıcıyarı iletken termal işlem uygulamalarının zorlu gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmıştır. Yüksek saflıkta SiC'den üretilen ve silikon emprenye yoluyla geliştirilen bu ürün, yüksek sıcaklık performansı, mükemmel termal iletkenlik, korozyon direnci ve olağanüstü mekanik mukavemetin benzersiz bir kombinasyonunu sunar.
Gelişmiş malzeme bilimini hassas üretimle birleştiren bu çözüm, yarı iletken üreticileri için üstün performans, güvenilirlik ve dayanıklılık sağlar.
Temel Özellikler
1.Olağanüstü Yüksek Sıcaklık Direnci
2700°C'yi aşan erime noktasına sahip SiC malzemeleri, doğası gereği aşırı ısı altında stabildir. Silikon emdirme, termal kararlılıklarını daha da artırarak yapısal zayıflama veya performans kaybı olmadan yüksek sıcaklıklara uzun süre maruz kalmalarına olanak tanır.
2.Üstün Isı İletkenliği
Silikon emdirilmiş SiC'nin olağanüstü termal iletkenliği, eşit ısı dağılımı sağlayarak kritik işlem aşamalarında termal stresi azaltır. Bu özellik, ekipmanın ömrünü uzatır ve üretimin aksama süresini en aza indirir; bu da onu yüksek sıcaklıktaki termal işlemler için ideal kılar.
3.Oksidasyon ve Korozyon Direnci
Yüzeyde doğal olarak oluşan sağlam bir silikon oksit tabakası, oksidasyona ve korozyona karşı olağanüstü direnç sağlar. Bu, zorlu çalışma ortamlarında uzun vadeli güvenilirlik sağlayarak hem malzemeyi hem de çevredeki bileşenleri korur.
4.Yüksek Mekanik Mukavemet ve Aşınma Direnci
Silikon emdirilmiş SiC, mükemmel basınç dayanımı ve aşınma direncine sahip olup, yüksek yük ve yüksek sıcaklık koşullarında yapısal bütünlüğünü korur. Bu, aşınmaya bağlı hasar riskini azaltır ve uzun kullanım döngüleri boyunca tutarlı performans sağlar.
Özellikler
| Ürün Adı | SC-RSiC-Si |
| Malzeme | Silisyum Emdirme Silisyum Karbür Kompakt (yüksek saflıkta) |
| Uygulamalar | Yarı İletken Isıl İşlem Parçaları, Yarı İletken Üretim Ekipmanı Parçaları |
| Teslimat formu | Kalıplanmış gövde (Sinterlenmiş gövde) |
| Kompozisyon | Mekanik Özellik | Young Modülü (GPa) | Eğilme Dayanımı (MPa) | ||
| Bileşim (hacim%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Yığın Yoğunluğu (kg/m³) | 3,02x103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Isıya Dayanıklı Sıcaklık°C | 1350 | Poisson Oranı | 0,18(RT) | ||
| Termal Özellik | Isı İletkenliği (W/(m·K)) | Özgül Isı Kapasitesi (kJ/(kg·K)) | Termal Genleşme Katsayısı (1/K) | ||
| RT | 220 | 0,7 | RT~700°C | 3,4x10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4,3x10-6 | |
| Safsızlık İçeriği ((ppm) | |||||||||||||
| Öğe | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| İçerik Oranı | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0,3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Uygulamalar
▪Yarı İletken Isıl İşlem:Hassas sıcaklık kontrolünün ve malzeme dayanıklılığının kritik olduğu kimyasal buhar biriktirme (CVD), epitaksiyel büyüme ve tavlama gibi işlemler için idealdir.
▪Gofret Taşıyıcıları ve Kürekler:Yüksek sıcaklıktaki termal işlemler sırasında levhaları güvenli bir şekilde tutmak ve taşımak için tasarlanmıştır.
▪Aşırı Çalışma Ortamları: Isıya, kimyasal maddelere maruz kalmaya ve mekanik strese karşı direnç gerektiren ayarlar için uygundur.
Silikon Emdirilmiş SiC'nin Avantajları
Yüksek saflıkta silisyum karbür ve gelişmiş silisyum emprenye teknolojisinin birleşimi, benzersiz performans avantajları sağlar:
▪Kesinlik:Yarı iletken işlemenin doğruluğunu ve kontrolünü artırır.
▪Kararlılık:İşlevsellikten ödün vermeden zorlu ortamlara dayanır.
▪Uzun ömür:Yarı iletken üretim ekipmanının servis ömrünü uzatır.
▪Yeterlik:Güvenilir ve tutarlı sonuçlar sağlayarak üretkenliği artırır.
Neden Silikon Emdirilmiş SiC Çözümlerimizi Seçmelisiniz?
At Semicerayarı iletken üreticilerinin ihtiyaçlarına göre tasarlanmış yüksek performanslı çözümler sağlama konusunda uzmanız. Silisyum Emdirilmiş Silisyum Karbür Kürek ve Gofret Taşıyıcımız, endüstri standartlarını karşılamak için sıkı testlerden ve kalite güvencesinden geçer. Semicera'yı seçerek üretim süreçlerinizi optimize etmek ve üretim yeteneklerinizi geliştirmek için tasarlanmış en son teknolojiye sahip malzemelere erişim kazanırsınız.
Teknik Özellikler
▪Malzeme Bileşimi:Silikon emdirilmiş yüksek saflıkta silisyum karbür.
▪Çalışma Sıcaklığı Aralığı:2700°C'ye kadar.
▪ Isı İletkenliği:Eşit ısı dağılımı için olağanüstü derecede yüksektir.
▪Direnç Özellikleri:Oksidasyona, korozyona ve aşınmaya dayanıklıdır.
▪Uygulamalar:Çeşitli yarı iletken ısıl işlem sistemleriyle uyumludur.
Bize Ulaşın
Yarı iletken üretim sürecinizi yükseltmeye hazır mısınız? Temas etmekSemiceraBugün Silikon Emdirilmiş Silisyum Karbür Kürek ve Gofret Taşıyıcımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için.
▪E-posta: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telefon: +86-0574-8650 3783
▪Konum:No.1958 Jiangnan Yolu, Ningbo Yüksek Teknoloji, Bölge, Zhejiang Eyaleti, 315201, Çin
