Tanım
Semicera'nın MOCVD (Metal-Organik Kimyasal Buhar Biriktirme) için SiC Gofret Tutucuları, epitaksiyel biriktirme işlemlerinin kesin taleplerini karşılamak üzere tasarlanmıştır. Yüksek kaliteli Silisyum Karbür (SiC) kullanan bu tutucular, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda benzersiz dayanıklılık ve performans sunarak yarı iletken malzemelerin hassas ve verimli bir şekilde büyümesini sağlar.
Temel Özellikler:
1. Üstün Malzeme ÖzellikleriYüksek dereceli SiC'den üretilen levha tutucularımız olağanüstü termal iletkenlik ve kimyasal direnç sergiler. Bu özellikler, yüksek sıcaklıklar ve aşındırıcı gazlar da dahil olmak üzere MOCVD proseslerinin zorlu koşullarına dayanmalarını sağlayarak uzun ömürlülük ve güvenilir performans sağlar.
2. Epitaksiyel Biriktirmede HassasiyetSiC Gofret Süseptörlerimizin hassas mühendisliği, gofret yüzeyi boyunca eşit sıcaklık dağılımı sağlayarak tutarlı ve yüksek kaliteli epitaksiyel katman büyümesini kolaylaştırır. Bu hassasiyet, optimum elektriksel özelliklere sahip yarı iletkenlerin üretilmesi için kritik öneme sahiptir.
3. Geliştirilmiş DayanıklılıkSağlam SiC malzemesi, zorlu proses ortamlarına sürekli maruz kalındığında bile aşınma ve bozulmaya karşı mükemmel direnç sağlar. Bu dayanıklılık, suseptör değiştirme sıklığını azaltarak arıza süresini ve işletme maliyetlerini en aza indirir.
Uygulamalar:
Semicera'nın MOCVD için SiC Wafer Süseptörleri aşağıdakiler için idealdir:
• Yarı iletken malzemelerin epitaksiyel büyümesi
• Yüksek sıcaklıkta MOCVD işlemleri
• GaN, AlN ve diğer bileşik yarı iletkenlerin üretimi
• Gelişmiş yarı iletken üretim uygulamaları
CVD-SIC Kaplamaların Ana Özellikleri:

Faydalar:
•Yüksek Hassasiyet: Düzgün ve kaliteli epitaksiyel büyüme sağlar.
•Uzun Ömürlü Performans: Olağanüstü dayanıklılık, değiştirme sıklığını azaltır.
• Maliyet Verimliliği: Arıza sürelerinin ve bakımın azaltılması sayesinde işletme maliyetlerini en aza indirir.
•Çok yönlülük: Çeşitli MOCVD proses gereksinimlerine uyacak şekilde özelleştirilebilir.






-
41 adet 4 inç grafit tabanlı MOCVD ekipmanı ...
-
Silisyum Karbür Kaplamalı Grafit Gofret Taşıyıcılar
-
SiC Epitaksi Gofret Taşıyıcı
-
Yarı Seramiklerle Verimi ve Performansı En Üst Düzeye Çıkarın ...
-
Yüksek Kaliteli Silisyum Karbür Kaplamalı Isıtma Elemanı ...
-
Epitaksi için Silisyum Karbür Kaplamalı Grafit Alet