Semicerasunmaktan memnuniyet duyarPFA Kaset, kimyasal direncin ve dayanıklılığın çok önemli olduğu ortamlarda levha işleme için birinci sınıf bir seçim. Yüksek saflıkta Perfloroalkoksi (PFA) malzemeden üretilen bu kaset, yarı iletken imalatındaki en zorlu koşullara dayanacak ve levhalarınızın güvenliğini ve bütünlüğünü sağlayacak şekilde tasarlanmıştır.
Eşsiz Kimyasal DirençPFA KasetÇok çeşitli kimyasallara karşı üstün direnç sağlayacak şekilde tasarlanmıştır; bu da onu agresif asitler, solventler ve diğer sert kimyasalları içeren işlemler için mükemmel bir seçim haline getirir. Bu güçlü kimyasal direnç, kasetin en aşındırıcı ortamlarda bile sağlam ve işlevsel kalmasını sağlar, böylece ömrünü uzatır ve sık değiştirme ihtiyacını azaltır.
Yüksek Saflıkta YapıSemicera'nınPFA KasetGofret işleme sırasında kirlenmenin önlenmesinde kritik öneme sahip olan ultra saf PFA malzemeden üretilmiştir. Bu yüksek saflıkta yapı, parçacık oluşumu ve kimyasal sızma riskini en aza indirerek, levhalarınızın kalitelerini tehlikeye atabilecek yabancı maddelerden korunmasını sağlar.
Gelişmiş Dayanıklılık ve PerformansDayanıklılık için tasarlananPFA KasetAşırı sıcaklıklar ve zorlu işleme koşulları altında yapısal bütünlüğünü korur. İster yüksek sıcaklıklara maruz kalsın, isterse tekrarlanan işlemlere maruz kalsın, bu kaset şeklini ve performansını koruyarak zorlu üretim ortamlarında uzun vadeli güvenilirlik sunar.
Güvenli İşleme için Hassas MühendislikSemicera PFA KasetGüvenli ve istikrarlı levha işlemeyi sağlayan hassas mühendisliğe sahiptir. Her yuva, levhaları güvenli bir şekilde yerinde tutacak ve hasara yol açabilecek herhangi bir hareket veya kaymayı önleyecek şekilde dikkatlice tasarlanmıştır. Bu hassas mühendislik, tutarlı ve doğru levha yerleştirmeyi destekleyerek genel proses verimliliğine katkıda bulunur.
Süreçler Arasında Çok Yönlü UygulamaÜstün malzeme özellikleri sayesindePFA Kasetyarı iletken imalatının çeşitli aşamalarında kullanılabilecek kadar çok yönlüdür. Özellikle ıslak aşındırma, kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve zorlu kimyasal ortamları içeren diğer işlemler için çok uygundur. Uyarlanabilirliği, onu proses bütünlüğünün ve levha kalitesinin korunmasında önemli bir araç haline getirir.
Kalite ve Yenilik TaahhüdüSemicera olarak en yüksek endüstri standartlarını karşılayan ürünler sunmaya kendimizi adadık.PFA Kasetüretim süreçlerinize kusursuz bir şekilde entegre olan güvenilir bir çözüm sunarak bu bağlılığın bir örneğini oluşturuyor. Semicera'dan beklediğiniz mükemmelliği sunarak, sıkı performans kriterlerimizi karşıladığından emin olmak için her kaset sıkı kalite kontrolünden geçirilir.
| Öğeler | Üretme | Araştırma | kukla |
| Kristal Parametreleri | |||
| Politip | 4H | ||
| Yüzey yönlendirme hatası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriksel Parametreler | |||
| katkı maddesi | n-tipi Azot | ||
| Direnç | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanik Parametreler | |||
| Çap | 150,0±0,2 mm | ||
| Kalınlık | 350±25 mikron | ||
| Birincil düz yönlendirme | [1-100]±5° | ||
| Birincil düz uzunluk | 47,5±1,5 mm | ||
| İkincil daire | Hiçbiri | ||
| TTV | ≤5 mikron | ≤10 mikron | ≤15 mikron |
| YBD | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çözgü | ≤35 mikron | ≤45 mikron | ≤55 mikron |
| Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Yapı | |||
| Mikro boru yoğunluğu | <1 adet/cm2 | <10 adet/cm2 | <15 adet/cm2 |
| Metal yabancı maddeleri | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 adet/cm2 | ≤3000 adet/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 adet/cm2 | ≤1000 adet/cm2 | NA |
| Ön Kalite | |||
| Ön | Si | ||
| Yüzey kalitesi | Si-yüzlü CMP | ||
| Parçacıklar | ≤60ea/wafer (boyut≥0,3μm) | NA | |
| çizikler | ≤5 adet/mm. Kümülatif uzunluk ≤Çap | Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA |
| Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik | Hiçbiri | NA | |
| Kenar talaşları/girintiler/kırık/altıgen plakalar | Hiçbiri | ||
| Çok tipli alanlar | Hiçbiri | Kümülatif alan≤%20 | Kümülatif alan≤30% |
| Ön lazer markalama | Hiçbiri | ||
| Arka Kalite | |||
| Arka kaplama | C-yüzlü CMP | ||
| çizikler | ≤5ea/mm, Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA | |
| Sırt kusurları (kenar talaşları/girintiler) | Hiçbiri | ||
| Sırt pürüzlülüğü | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Arka lazer markalama | 1 mm (üst kenardan) | ||
| Kenar | |||
| Kenar | Pah | ||
| Ambalajlama | |||
| Ambalajlama | Vakumlu paketleme ile epi-hazır Çoklu gofret kaset ambalajı | ||
| *Notlar: "NA" talep olmadığı anlamına gelir. Belirtilmeyen öğeler YARI-STD'ye atıfta bulunabilir. | |||
