MOCVDyöntemi, tek fazlı InGaN epikatmanları, III-N malzemeleri ve çoklu kuantum kuyu yapılarına sahip yarı iletken filmler gibi yüksek kaliteli tek kristalli ince filmleri büyütmek için endüstride şu anda kullanılan en kararlı işlemlerden biridir ve yarı iletken ve optoelektronik cihazların imalatı.
SiC kaplama MOCVD tutucuiçin silikon karbür (SiC) ile kaplanmış özel bir levha tutucudur.epitaksiyel metal organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) işleminde büyüme.
SiC kaplamanın mükemmel kimyasal direnci ve termal stabilitesi vardır, bu da onu zorlu epitaksiyel büyüme proseslerinde kullanılan MOCVD suseptörleri için ideal bir seçim haline getirir.
MOCVD prosesinin önemli bir bileşeni, üretilen ince filmlerin tek biçimliliğini ve kalitesini sağlamak için önemli bir unsur olan süseptördür.
Süseptör nedir? Süseptör, MOCVD işleminde ince filmin biriktirildiği alt tabakayı desteklemek ve ısıtmak için kullanılan özel bir bileşendir. Elektromanyetik enerjiyi emmek, ısıya dönüştürmek ve ısıyı alt tabakaya eşit şekilde dağıtmak gibi birçok işlevi vardır. Bu tek tip ısıtma, hassas kalınlık ve bileşime sahip tek tip ince filmlerin büyümesi için gereklidir.
Suseptör türleri:
1. Grafit tutucular: Grafit tutucular genellikle koruyucu bir tabaka ile kaplanır.silisyum karbür (SiC)Yüksek termal iletkenliği ve stabilitesi ile bilinen.SiC kaplamaYüksek sıcaklıklarda korozyona ve bozulmaya karşı dayanıklı, sert ve koruyucu bir yüzey sağlar.
2. Silisyum karbür (SiC) tutucular: Bu tutucular tamamen SiC'den yapılmıştır ve mükemmel termal stabiliteye ve aşınma direncine sahiptir. SiC tutucular özellikle yüksek sıcaklıktaki işlemler ve aşındırıcı ortamlar için uygundur.
MOCVD'de suseptörler nasıl çalışır:
MOCVD prosesinde öncüller reaksiyon odasına sokulur ve burada ayrışır ve substrat üzerinde ince bir film oluşturmak üzere reaksiyona girer. Süseptör, alt tabakanın eşit şekilde ısıtılmasını sağlayarak hayati bir rol oynar; bu, tüm alt tabaka yüzeyi boyunca tutarlı film özelliklerinin elde edilmesi için kritik öneme sahiptir. Süseptör malzemesi ve tasarımı, depolama işleminin sıcaklık aralığı ve kimyasal uyumluluk gibi özel gereksinimlerini karşılayacak şekilde dikkatle seçilir.
Yüksek kaliteli suseptör kullanmanın faydaları:
• Geliştirilmiş film kalitesi: Süseptör, düzgün ısı dağılımı sağlayarak, yarı iletken cihazların performansı için kritik olan tutarlı kalınlık ve bileşime sahip filmlerin elde edilmesine yardımcı olur.
• Geliştirilmiş proses verimliliği: Yüksek kaliteli tutucular, kusur olasılığını azaltarak ve kullanılabilir filmlerin verimini artırarak MOCVD prosesinin genel verimliliğini artırır.
• Kullanım ömrü ve güvenilirlik: SiC gibi dayanıklı malzemelerden yapılmış tutucular, uzun vadeli güvenilirlik sağlar ve bakım maliyetlerini azaltır.
Süseptör, MOCVD sürecinin ayrılmaz bir bileşenidir ve ince film biriktirmenin kalitesini ve verimliliğini doğrudan etkiler. Mevcut boyutlar, MOCVD tutucular ve fiyatlar hakkında daha fazla bilgi için lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin. Mühendislerimiz size uygun malzemeler konusunda tavsiyelerde bulunmaktan ve tüm sorularınızı yanıtlamaktan mutluluk duyacaktır.
Telefon: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Gönderim zamanı: Ağu-12-2024