SEMICERA izostatik PECVD grafit tekne, PECVD (plazma ile güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme) işleminde levha desteği için tasarlanmış yüksek saflıkta, yüksek yoğunluklu bir grafit ürünüdür. SEMICERA, grafit teknenin mükemmel yüksek sıcaklık direncine, korozyon direncine, boyutsal stabiliteye ve yarı iletken üretim sürecinde vazgeçilmez bir sarf malzemesi olan iyi termal iletkenliğe sahip olmasını sağlamak için gelişmiş izostatik presleme teknolojisini kullanır.
SEMICERA izostatik PECVD grafit tekne aşağıdaki avantajlara sahiptir:
▪ Yüksek saflık: Grafit malzemesi, levha yüzeyinin kirlenmesini önlemek için yüksek saflıkta ve düşük yabancı madde içeriğine sahiptir.
▪ Yüksek yoğunluk: Yüksek yoğunluk, yüksek mekanik mukavemet, yüksek sıcaklık ve yüksek vakum ortamına dayanabilir.
▪ İyi boyutsal kararlılık: Proses kararlılığını sağlamak için yüksek sıcaklıkta küçük boyutsal değişim.
▪ Mükemmel termal iletkenlik: Plakanın aşırı ısınmasını önlemek için ısıyı etkili bir şekilde aktarın.
▪ Güçlü korozyon direnci: Çeşitli aşındırıcı gazlar ve plazmanın neden olduğu erozyona karşı dayanıklıdır.
| Performans parametresi | semicera | SGL R6510 | Performans parametresi |
| Yığın yoğunluğu (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| Eğilme mukavemeti (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| Basınç dayanımı (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| Shore Sertliği (HS) | 70 | 64 | 60 |
| Termal genleşme katsayısı (10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
| Termal genleşme katsayısı (10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| Direnç (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
Bizi tercih etmenin avantajları:
▪ Malzeme seçimi: Ürün kalitesini sağlamak için yüksek saflıkta grafit malzemeler kullanılır.
▪ İşleme teknolojisi: Ürün yoğunluğunu ve tekdüzeliğini sağlamak için izostatik presleme kullanılır.
▪ Boyut özelleştirmesi: Farklı boyut ve şekillerdeki grafit tekneler, müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir.
▪ Yüzey işleme: Farklı proses gereksinimlerini karşılamak için silisyum karbür, bor nitrür vb. kaplama gibi çeşitli yüzey işleme yöntemleri sağlanmaktadır.
