SiC Gofret Teknesi
Silisyum karbür gofret teknesiesas olarak güneş enerjisi ve yarı iletken difüzyon proseslerinde kullanılan levhalar için yük taşıma cihazıdır. Aşınma direnci, korozyon direnci, yüksek sıcaklık darbe direnci, plazma bombardımanına karşı direnç, yüksek sıcaklık taşıma kapasitesi, yüksek ısı iletkenliği, yüksek ısı dağılımı ve bükülmesi ve deforme edilmesi kolay olmayan uzun süreli kullanım gibi özelliklere sahiptir. Firmamız servis ömrünü sağlamak için yüksek saflıkta silisyum karbür malzeme kullanmakta ve özel tasarımlar da sunmaktadır. çeşitli dikey ve yataygofret teknesi.
SiC Kürek
silisyum karbür konsol kürekesas olarak silikon levhaların yüksek sıcaklıkta yüklenmesinde ve taşınmasında önemli bir rol oynayan silikon levhaların (difüzyon) kaplamasında kullanılır. Bu önemli bir bileşendiryarı iletken gofretyükleme sistemleri ve aşağıdaki ana özelliklere sahiptir:
1. Yüksek sıcaklıktaki ortamlarda deforme olmaz ve levhalar üzerinde yüksek bir yükleme kuvvetine sahiptir;
2. Aşırı soğuğa ve hızlı sıcağa dayanıklıdır ve uzun ömürlüdür;
3. Termal genleşme katsayısı küçüktür, bakım ve temizleme döngüsünü büyük ölçüde uzatır ve kirleticileri önemli ölçüde azaltır.
SiC Fırın Borusu
Silisyum karbür proses tüpüMetalik yabancı maddeler içermeyen yüksek saflıkta SiC'den yapılmış, levhayı kirletmez ve yarı iletken ve fotovoltaik difüzyon, tavlama ve oksidasyon işlemleri gibi işlemler için uygundur.
SiC Robot Kolu
SiC robot koluAynı zamanda levha transfer ucu efektörü olarak da bilinen, yarı iletken levhaları taşımak için kullanılan robotik bir koldur ve yarı iletken, optoelektronik ve güneş enerjisi endüstrilerinde yaygın olarak kullanılır. Yüksek sertlik, aşınma direnci, sismik direnç, deformasyon olmadan uzun süreli kullanım, uzun servis ömrü vb. ile yüksek saflıkta silisyum karbür kullanılması, özelleştirilmiş hizmetler sağlayabilir.
Kristal büyümesi için grafit
Grafit ısı kalkanı
Grafit elektrot tüpü
Grafit saptırıcı
Grafit ayna
Yarı iletken kristallerin yetiştirilmesi için kullanılan tüm işlemler, yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı ortamlarda çalışır. Kristal büyütme fırınının sıcak bölgesi genellikle ısıya dayanıklı ve korozyona dayanıklı yüksek saflıkla donatılmıştır. Grafit ısıtıcılar, potalar, silindirler, deflektör, aynalar, tüpler, halkalar, tutucular, somunlar vb. gibi grafit bileşenleri. Bitmiş ürünümüz 5 ppm'den daha az kül içeriğine ulaşabilir.
Semidondüktör Epitaksi için Grafit
Grafit Tabanı
Grafit Epitaksiyel Namlu
Monocry Stalline Silikon Epitaksiyel Taban
MOCVD Grafit Parçaları
Yarı İletken Grafit Armatür
Epitaksiyel işlem, tek bir kristal malzemenin, substrat ile aynı kafes düzenlemesine sahip tek bir kristal substrat üzerinde büyümesini ifade eder. Çok sayıda ultra yüksek saflıkta grafit parça ve SIC kaplamalı grafit taban gerektirir. Yarı iletken epitaksi için kullanılan yüksek saflıktaki grafit, endüstride en sık kullanılan ekipmanlarla eşleşebilecek geniş bir uygulama yelpazesine sahiptir. Aynı zamanda son derece yüksektir. saflık, düzgün kaplama, mükemmel servis ömrü ve son derece yüksek kimyasal direnç ve termal stabilite.
Yalıtım Malzemesi ve diğer
Yarı iletken üretiminde kullanılan ısı yalıtım malzemeleri grafit sert keçe, yumuşak keçe, grafit folyo, karbon kompozit malzemeler vb.'dir. Hammaddelerimiz ithal grafit malzemeler olup, müşterilerin spesifikasyonlarına göre kesilebildiği gibi, metal olarak da satılabilmektedir. tüm. Karbon kompozit malzeme genellikle güneş monokristal ve polisilikon hücre üretim prosesinde taşıyıcı olarak kullanılır.