Tanım
Silisyum karbür seramikler, oda sıcaklığında yüksek mukavemet, yüksek sertlik, yüksek elastik modül vb. gibi mükemmel mekanik özelliklere sahiptir; aynı zamanda yüksek termal iletkenlik, düşük termal genleşme katsayısı ve iyi spesifik sertlik ve optik gibi mükemmel yüksek sıcaklık stabilitesine sahiptir. işleme performansı.
Özellikle SiC taşıyıcı/tutucu, SiC gofret teknesi, emme diski, su soğutma plakası, hassas ölçüm reflektörü, ızgara ve diğer seramik yapısal parçaların üretiminde kullanılan litografi makineleri gibi entegre devre ekipmanları için hassas seramik parçalar üretmek için özellikle uygundurlar.
Avantajları
Yüksek sıcaklık dayanımı: 1800 ° C'de normal kullanım
Yüksek termal iletkenlik: grafit malzemeye eşdeğer
Yüksek sertlik: sertlik elmastan ve bor nitrürden sonra ikinci sıradadır
Korozyon direnci: Güçlü asit ve alkalilerde korozyon yoktur, korozyon direnci tungsten karbür ve alüminadan daha iyidir
Hafiflik: Düşük yoğunluklu, alüminyuma yakın
Deformasyon yok: düşük termal genleşme katsayısı
Termal şok direnci: keskin sıcaklık değişikliklerine dayanabilir, termal şoka direnebilir ve istikrarlı bir performansa sahiptir.
Sic aşındırma taşıyıcısı, ICP aşındırma tutucusu gibi silisyum karbür taşıyıcı, yarı iletken CVD, vakum püskürtme vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Farklı uygulamaları karşılamak için müşterilerimize silikon ve silisyum karbür malzemelerden özelleştirilmiş levha taşıyıcılar sağlayabiliriz.
Avantajları
| Mülk | Değer | Yöntem |
| Yoğunluk | 3,21 gr/cc | Lavabo-şamandıra ve boyut |
| Özgül ısı | 0,66 J/g°K | Darbeli lazer flaşı |
| Eğilme mukavemeti | 450 MPa560 MPa | 4 noktalı büküm, RT4 noktalı büküm, 1300° |
| Kırılma tokluğu | 2,94 MPa m1/2 | Mikro girinti |
| Sertlik | 2800 | Vicker's, 500g yük |
| Elastik ModülYoung Modülü | 450 GPa430 GPa | 4 noktalı büküm, RT4 noktalı büküm, 1300 °C |
| Tane büyüklüğü | 2 – 10 mikron | SEM |
Şirket Profili
WeiTai Energy Technology Co., Ltd., gelişmiş yarı iletken seramiklerin lider tedarikçisidir ve Çin'de aynı anda yüksek saflıkta silisyum karbür seramik (özellikle Yeniden Kristalize SiC) ve CVD SiC kaplama sağlayabilen tek üreticidir. Ayrıca firmamız alümina, alüminyum nitrür, zirkonya ve silisyum nitrür vb. seramik alanlarına da kendini adamıştır.
Başlıca ürünlerimiz: silisyum karbür aşındırma diski, silisyum karbür tekne çekme, silisyum karbür gofret tekne (Fotovoltaik ve Yarı İletken), silisyum karbür fırın tüpü, silisyum karbür konsol küreği, silisyum karbür aynalar, silisyum karbür kirişin yanı sıra CVD SiC kaplama ve TaC kaplama. Kristal büyütme, epitaksi, aşındırma, paketleme, kaplama ve difüzyon fırınları vb. için ekipmanlar gibi ağırlıklı olarak yarı iletken ve fotovoltaik endüstrilerinde kullanılan ürünler.
Taşıma
