Yüksek saflıkta SiC Taşıyıcı/Suseptör

Kısa Açıklama:

Silisyum karbür yatak diski aynı zamanda SIC tepsisi, silikon karbür aşındırma diski, ICP aşındırma diski olarak da bilinir. LED gravür için silisyum karbür tepsi (SiC tepsi) φ600mm, derin silikon gravür (ICP gravür makinesi) için özel bir aksesuardır.

Bize e-posta gönder

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Tanım

Silisyum karbür seramikler, oda sıcaklığında yüksek mukavemet, yüksek sertlik, yüksek elastik modül vb. gibi mükemmel mekanik özelliklere sahiptir; aynı zamanda yüksek termal iletkenlik, düşük termal genleşme katsayısı ve iyi spesifik sertlik ve optik gibi mükemmel yüksek sıcaklık stabilitesine sahiptir. işleme performansı.
Özellikle SiC taşıyıcı/tutucu, SiC gofret teknesi, emme diski, su soğutma plakası, hassas ölçüm reflektörü, ızgara ve diğer seramik yapısal parçaların üretiminde kullanılan litografi makineleri gibi entegre devre ekipmanları için hassas seramik parçalar üretmek için özellikle uygundurlar.

taşıyıcı2

taşıyıcı3

taşıyıcı4

Avantajları

Yüksek sıcaklık dayanımı: 1800 ° C'de normal kullanım
Yüksek termal iletkenlik: grafit malzemeye eşdeğer
Yüksek sertlik: elmastan sonra ikinci sertlikte bor nitrür
Korozyon direnci: Güçlü asit ve alkalilerde korozyon yoktur, korozyon direnci tungsten karbür ve alüminadan daha iyidir
Hafiflik: Düşük yoğunluklu, alüminyuma yakın
Deformasyon yok: düşük termal genleşme katsayısı
Termal şok direnci: keskin sıcaklık değişikliklerine dayanabilir, termal şoka direnebilir ve istikrarlı bir performansa sahiptir.
Sic aşındırma taşıyıcısı, ICP aşındırma tutucusu gibi silisyum karbür taşıyıcı, yarı iletken CVD, vakum püskürtme vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Farklı uygulamaları karşılamak için müşterilerimize silikon ve silisyum karbür malzemelerden özelleştirilmiş levha taşıyıcılar sağlayabiliriz.

Avantajları

Mülk	Değer	Yöntem
Yoğunluk	3,21 gr/cc	Lavabo-şamandıra ve boyut
Özgül ısı	0,66 J/g°K	Darbeli lazer flaşı
Eğilme mukavemeti	450 MPa560 MPa	4 noktalı büküm, RT4 noktalı büküm, 1300°
Kırılma tokluğu	2,94 MPa m1/2	Mikro girinti
Sertlik	2800	Vicker's, 500g yük
Elastik ModülYoung Modülü	450 GPa430 GPa	4 noktalı büküm, RT4 noktalı büküm, 1300 °C
Tane büyüklüğü	2 – 10 mikron	SEM

Şirket Profili

WeiTai Energy Technology Co., Ltd., gelişmiş yarı iletken seramiklerin lider tedarikçisidir ve Çin'de aynı anda yüksek saflıkta silisyum karbür seramik (özellikle Yeniden Kristalize SiC) ve CVD SiC kaplama sağlayabilen tek üreticidir. Ayrıca firmamız alümina, alüminyum nitrür, zirkonya ve silisyum nitrür vb. seramik alanlarına da kendini adamıştır.

Başlıca ürünlerimiz: silisyum karbür aşındırma diski, silisyum karbür tekne çekme, silisyum karbür gofret tekne (Fotovoltaik ve Yarı İletken), silisyum karbür fırın tüpü, silisyum karbür konsol küreği, silisyum karbür aynalar, silisyum karbür kirişin yanı sıra CVD SiC kaplama ve TaC kaplama. Kristal büyütme, epitaksi, aşındırma, paketleme, kaplama ve difüzyon fırınları vb. için ekipmanlar gibi ağırlıklı olarak yarı iletken ve fotovoltaik endüstrilerinde kullanılan ürünler.
yaklaşık (2)