Semicera, çeşitli bileşenler ve taşıyıcılar için özel tantal karbür (TaC) kaplamalar sağlar.Semicera'nın önde gelen kaplama işlemi, tantal karbür (TaC) kaplamaların yüksek saflık, yüksek sıcaklık stabilitesi ve yüksek kimyasal tolerans elde etmesini sağlayarak SIC/GAN kristallerinin ve EPI katmanlarının ürün kalitesini artırır (Grafit kaplı TaC tutucu) ve temel reaktör bileşenlerinin ömrünün uzatılması. Tantal karbür TaC kaplamanın kullanımı, kenar problemini çözmek ve kristal büyüme kalitesini arttırmaktır ve Semicera, tantal karbür kaplama teknolojisini (CVD) çözerek uluslararası ileri seviyeye ulaşarak çığır açmıştır.
8 inçlik silisyum karbür (SiC) plakaların ortaya çıkmasıyla birlikte, çeşitli yarı iletken işlemlere yönelik gereksinimler, özellikle sıcaklıkların 2000 santigrat dereceyi aşabildiği epitaksi işlemlerine yönelik gereksinimler giderek daha sıkı hale geldi. Silisyum karbür kaplı grafit gibi geleneksel duyarlı malzemeler bu yüksek sıcaklıklarda süblimleşme eğilimi göstererek epitaksi sürecini bozar. Ancak CVD tantal karbür (TaC), 2300 santigrat dereceye kadar sıcaklıklara dayanıp daha uzun bir servis ömrü sunarak bu sorunu etkili bir şekilde çözer. Semicera'yla iletişime geçins CVD Tantal Karbür Kaplamalı Üst Yarım AyGelişmiş çözümlerimiz hakkında daha fazlasını keşfetmek için.
Yıllar süren geliştirme sürecinin ardından Semicera, teknolojiyi fethettiCVD TaCAr-Ge departmanının ortak çabaları ile. SiC levhaların büyüme sürecinde kusurların oluşması kolaydır, ancak kullanımdan sonraTaCfark önemlidir. Aşağıda TaC içeren ve içermeyen gofretlerin yanı sıra tek kristal büyümesi için Simicera parçalarının bir karşılaştırması bulunmaktadır.
TaC ile ve TaC olmadan
TaC kullandıktan sonra (sağda)
Ayrıca Semicera'nınTaC kaplı ürünlerkarşılaştırıldığında daha uzun bir servis ömrü ve daha fazla yüksek sıcaklık direnci sergiler.SiC kaplamalar.Laboratuvar ölçümleri şunu gösterdi:TaC kaplamalarUzun süre boyunca 2300 santigrat dereceye kadar sıcaklıklarda tutarlı bir şekilde performans gösterebilir. Aşağıda örneklerimizden bazı örnekleri bulabilirsiniz:
TaC kaplı suseptör
TaC kaplı reaktörlü grafit
