Silisyum Karbür Kaplamaya Giriş
Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) Silisyum Karbür (SiC) kaplamamız, yüksek korozyon ve termal direnç gerektiren ortamlar için ideal, son derece dayanıklı ve aşınmaya dirençli bir katmandır.Silisyum Karbür kaplamaÜstün performans özellikleri sunan CVD işlemiyle çeşitli yüzeylere ince katmanlar halinde uygulanır.
Temel Özellikler
● -Olağanüstü Saflık: Ultra saf bir bileşime sahiptir%99,99995, bizimSiC kaplamaHassas yarı iletken operasyonlarında kirlenme risklerini en aza indirir.
● -Üstün Direnç: Aşınma ve korozyona karşı mükemmel direnç göstererek zorlu kimyasal ve plazma ayarları için mükemmeldir.
● -Yüksek Isı İletkenliği: Üstün termal özellikleri sayesinde aşırı sıcaklıklarda güvenilir performans sağlar.
● -Boyutsal Kararlılık: Düşük termal genleşme katsayısı sayesinde geniş bir sıcaklık aralığında yapısal bütünlüğünü korur.
● -Geliştirilmiş Sertlik: Sertlik derecesine sahip40 GPaSiC kaplamamız önemli darbe ve aşınmaya dayanıklıdır.
● -Pürüzsüz Yüzey Kaplaması: Ayna benzeri bir yüzey sağlayarak parçacık oluşumunu azaltır ve operasyonel verimliliği artırır.
Uygulamalar
Semicera SiC kaplamalaraşağıdakiler de dahil olmak üzere yarı iletken imalatının çeşitli aşamalarında kullanılır:
● -LED Çip İmalatı
● -Polisilikon Üretimi
● -Yarı İletken Kristal Büyümesi
● -Silikon ve SiC Epitaksi
● -Termal Oksidasyon ve Difüzyon (TO&D)
Akışkan yataklı reaktörler için özel olarak tasarlanmış, yüksek mukavemetli izostatik grafit, karbon fiberle güçlendirilmiş karbon ve 4N yeniden kristalize silisyum karbürden üretilen SiC kaplı bileşenler tedarik ediyoruz.PECVD, silikon epitaksi, MOCVD işlemlerinde kullanılan STC-TCS dönüştürücüler, CZ birim reflektörler, SiC gofret botu, SiCwafer paddle, SiC gofret tüpü ve gofret taşıyıcılar.
Faydalar
● -Uzatılmış Kullanım Ömrü: Ekipmanın aksama süresini ve bakım maliyetlerini önemli ölçüde azaltarak genel üretim verimliliğini artırır.
● -Geliştirilmiş Kalite: Yarı iletken işleme için gerekli olan yüksek saflıkta yüzeyler elde ederek ürün kalitesini artırır.
● -Artan Verimlilik: Termal ve CVD proseslerini optimize ederek daha kısa çevrim süreleri ve daha yüksek verim sağlar.
Teknik Özellikler
● -Yapı: FCC β fazlı polikristalin, esas olarak (111) odaklı
● -Yoğunluk: 3,21 g/cm³
● -Sertlik: 2500 Vikes sertliği (500g yük)
● -Kırılma Tokluğu: 3,0 MPa·m1/2
● -Termal Genleşme Katsayısı (100–600 °C): 4,3x10-6k-1
● -Elastik Modül(1300°C):435 not ortalaması
● -Tipik Film Kalınlığı:100 mikron
● -Yüzey Pürüzlülüğü:2-10 µm
Saflık Verileri (Glow Deşarj Kütle Spektroskopisi ile ölçülmüştür)
| Öğe | ppm | Öğe | ppm |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Al | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
