Toplu CVD SiC Halkası

Kısa Açıklama:

Toplu CVD SiC halkaları, hammadde olarak silikon kaynak gazı (silikon hidrit gibi) ve karbon kaynak gazı (metan gibi) kullanır ve büyük boyutlu SiC malzemelerini bir alt tabaka veya kalıp üzerinde biriktirmek için yüksek sıcaklıkta reaksiyona girer. Bu işlem SiC'nin geniş bir alan üzerinde eşit şekilde birikmesine olanak tanıyarak güçlü ve tutarlı bir halka yapısı oluşturur.

Bize e-posta gönder

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Silisyum Karbür Aşındırma Halkası Neden?

RTPCVD SiC halkalarıendüstriyel ve bilimsel alanlarda yüksek sıcaklık ve korozif ortamlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Yarı iletken üretiminde, optoelektronikte, hassas makinelerde ve kimya endüstrisinde önemli bir rol oynar. Özel uygulamalar şunları içerir:

1. Yarı iletken üretimi:RTP CVD SiC halkalarıYarı iletken ekipmanların ısıtılması ve soğutulması için kullanılabilir, stabil sıcaklık kontrolü sağlar ve prosesin doğruluğunu ve tutarlılığını sağlar.

2. Optoelektronik: Mükemmel ısı iletkenliği ve yüksek sıcaklık direnci nedeniyle RTPCVD SiC halkalarılazerler, fiber optik iletişim ekipmanları ve optik bileşenler için destek ve ısı dağıtma malzemeleri olarak kullanılabilir.

3. Hassas makineler: RTP CVD SiC halkaları, yüksek sıcaklık fırınları, vakum cihazları ve kimyasal reaktörler gibi yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlardaki hassas alet ve ekipmanlar için kullanılabilir.

4. Kimya endüstrisi: Korozyon direnci ve kimyasal kararlılığı nedeniyle RTP CVD SiC halkaları, kimyasal reaksiyonlarda ve katalitik proseslerde kaplarda, borularda ve reaktörlerde kullanılabilir.

Epi Sistemi

RTP Sistemi

CVD Sistemi

Ürün performansı:

1. 28nm'nin altındaki süreci karşılayın

2. Süper korozyon direnci

3. Süper temiz performans

4. Süper sertlik

5. Yüksek yoğunluk

6. Yüksek sıcaklık dayanımı

7. Aşınma direnci

Ürün uygulaması:

Silisyum karbür malzemeler yüksek sertlik, aşınma direnci, korozyon direnci ve yüksek sıcaklık stabilitesi özelliklerine sahiptir. Mükemmel kapsamlı performansa sahip ürünler, kuru aşındırma ve TF/Diffüzyon işlemlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.