Ana Özellikler:
1. Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci:
Sıcaklık 1600 C'ye kadar çıktığında oksidasyon direnci hala çok iyidir.
2. Yüksek saflık: yüksek sıcaklıkta klorlama koşulu altında kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
3. Erozyon direnci: yüksek sertlik, kompakt yüzey, ince parçacıklar.
4. Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
Ana ÖzellikleriCVD-SIC Kaplama
| SiC-CVD Özellikleri | ||
| Kristal yapı | FCC β fazı | |
| Yoğunluk | g/cm³ | 3.21 |
| Sertlik | Vickers sertliği | 2500 |
| Tane büyüklüğü | μm | 2~10 |
| Kimyasal Saflık | % | 99.99995 |
| Isı kapasitesi | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Süblimleşme Sıcaklığı | °C | 2700 |
| Feleksural Dayanım | MPa (RT 4 nokta) | 415 |
| Gencin modülü | Gpa (4pt viraj, 1300°C) | 430 |
| Termal Genleşme (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Termal iletkenlik | (W/mK) | 300 |
