Semicera'nın mavi/yeşil LED epitaksisi, yüksek performanslı LED üretimi için son teknoloji çözümler sunar. Gelişmiş epitaksiyel büyüme süreçlerini desteklemek üzere tasarlanan semicera'nın Mavi/yeşil LED epitaksi teknolojisi, çeşitli optoelektronik uygulamalar için kritik olan mavi ve yeşil LED'lerin üretiminde verimliliği ve hassasiyeti artırır. En son teknolojiye sahip Si Epitaxy ve SiC Epitaxy'yi kullanan bu çözüm, mükemmel kalite ve dayanıklılık sağlar.
Üretim sürecinde MOCVD Susceptor, epitaksiyel büyüme ortamını optimize eden PSS Gravür Taşıyıcı, ICP Gravür Taşıyıcı ve RTP Taşıyıcı gibi bileşenlerle birlikte çok önemli bir rol oynar. Semicera'nın Mavi/yeşil LED epitaksisi, LED Epitaksiyel Susceptor, Namlu Susceptor ve Monokristalin Silikon için istikrarlı bir destek sağlayarak tutarlı, yüksek kaliteli sonuçların üretilmesini sağlayacak şekilde tasarlanmıştır.
Bu epitaksi işlemi, Fotovoltaik Parçalar oluşturmak için hayati öneme sahiptir ve SiC Epitaksi üzerinde GaN gibi uygulamaları destekleyerek genel yarı iletken verimliliğini artırır. İster Pancake Susceptor konfigürasyonunda ister diğer gelişmiş kurulumlarda kullanılmış olsun, semicera'nın Mavi/yeşil LED epitaksi çözümleri güvenilir performans sunarak üreticilerin yüksek kaliteli LED bileşenlerine yönelik artan talebi karşılamalarına yardımcı olur.
Ana özellikler:
1. Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci:
Sıcaklık 1600 C'ye kadar çıktığında oksidasyon direnci hala çok iyidir.
2. Yüksek saflık: yüksek sıcaklıkta klorlama koşulu altında kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
3. Erozyon direnci: yüksek sertlik, kompakt yüzey, ince parçacıklar.
4. Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
Ana ÖzellikleriCVD-SIC Kaplama
| SiC-CVD Özellikleri | ||
| Kristal Yapısı | FCC β fazı | |
| Yoğunluk | g/cm³ | 3.21 |
| Sertlik | Vickers sertliği | 2500 |
| Tane Boyutu | μm | 2~10 |
| Kimyasal Saflık | % | 99.99995 |
| Isı Kapasitesi | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Süblimleşme Sıcaklığı | °C | 2700 |
| Feleksural Dayanım | MPa (RT 4 nokta) | 415 |
| Young Modülü | Gpa (4pt viraj, 1300°C) | 430 |
| Termal Genleşme (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Isı iletkenliği | (W/mK) | 300 |
