Semicera'nın 6 İnç Yarı Yalıtımlı HPSI SiC Plakaları, modern yarı iletken teknolojisinin zorlu taleplerini karşılamak üzere tasarlanmıştır. Olağanüstü saflık ve tutarlılığa sahip bu plakalar, yüksek verimli elektronik bileşenlerin geliştirilmesi için güvenilir bir temel görevi görür.
Bu HPSI SiC levhalar, güç cihazlarının ve yüksek frekanslı devrelerin performansını optimize etmek için kritik öneme sahip olan olağanüstü ısı iletkenliği ve elektrik yalıtımıyla tanınır. Yarı yalıtım özellikleri, elektriksel parazitin en aza indirilmesine ve cihaz verimliliğinin en üst düzeye çıkarılmasına yardımcı olur.
Semicera tarafından uygulanan yüksek kaliteli üretim süreci, her bir levhanın eşit kalınlıkta ve minimum yüzey kusuruna sahip olmasını sağlar. Bu hassasiyet, performansın ve dayanıklılığın önemli faktörler olduğu radyo frekanslı cihazlar, güç çeviriciler ve LED sistemleri gibi gelişmiş uygulamalar için gereklidir.
Semicera, en son teknolojiye sahip üretim tekniklerinden yararlanarak endüstri standartlarını yalnızca karşılayan değil aynı zamanda aşan gofretler sağlar. 6 inçlik boyut, yarı iletken sektöründe hem araştırma hem de ticari uygulamalara hitap ederek üretimi artırmada esneklik sunar.
Semicera'nın 6 İnç Yarı Yalıtımlı HPSI SiC Gofretlerini seçmek, tutarlı kalite ve performans sunan bir ürüne yatırım yapmak anlamına gelir. Bu plakalar, Semicera'nın yenilikçi malzemeler ve titiz işçilik yoluyla yarı iletken teknolojisinin yeteneklerini geliştirme konusundaki kararlılığının bir parçasıdır.
| Öğeler | Üretme | Araştırma | kukla |
| Kristal Parametreleri | |||
| Politip | 4H | ||
| Yüzey yönlendirme hatası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriksel Parametreler | |||
| katkı maddesi | n-tipi Azot | ||
| Direnç | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanik Parametreler | |||
| Çap | 150,0±0,2 mm | ||
| Kalınlık | 350±25 mikron | ||
| Birincil düz yönlendirme | [1-100]±5° | ||
| Birincil düz uzunluk | 47,5±1,5 mm | ||
| İkincil daire | Hiçbiri | ||
| TTV | ≤5 mikron | ≤10 mikron | ≤15 mikron |
| YBD | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çözgü | ≤35 mikron | ≤45 mikron | ≤55 mikron |
| Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Yapı | |||
| Mikro boru yoğunluğu | <1 adet/cm2 | <10 adet/cm2 | <15 adet/cm2 |
| Metal yabancı maddeleri | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 adet/cm2 | ≤3000 adet/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 adet/cm2 | ≤1000 adet/cm2 | NA |
| Ön Kalite | |||
| Ön | Si | ||
| Yüzey kalitesi | Si-yüzlü CMP | ||
| Parçacıklar | ≤60ea/wafer (boyut≥0,3μm) | NA | |
| çizikler | ≤5 adet/mm. Kümülatif uzunluk ≤Çap | Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA |
| Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik | Hiçbiri | NA | |
| Kenar talaşları/girintiler/kırık/altıgen plakalar | Hiçbiri | ||
| Çok tipli alanlar | Hiçbiri | Kümülatif alan≤%20 | Kümülatif alan≤30% |
| Ön lazer markalama | Hiçbiri | ||
| Arka Kalite | |||
| Arka kaplama | C-yüzlü CMP | ||
| çizikler | ≤5ea/mm, Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA | |
| Sırt kusurları (kenar talaşları/girintiler) | Hiçbiri | ||
| Sırt pürüzlülüğü | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Arka lazer markalama | 1 mm (üst kenardan) | ||
| Kenar | |||
| Kenar | Pah | ||
| Ambalajlama | |||
| Ambalajlama | Vakumlu paketleme ile epi-hazır Çoklu gofret kaset ambalajı | ||
| *Notlar: "NA" talep olmadığı anlamına gelir. Belirtilmeyen öğeler YARI-STD'ye atıfta bulunabilir. | |||
