Silisyum karbür (SiC) tek kristal malzeme, geniş bir bant aralığı genişliğine (~Si 3 kat), yüksek termal iletkenliğe (~Si 3,3 kat veya GaAs 10 kat), yüksek elektron doygunluğu göç hızına (~Si 2,5 kat), yüksek arızalı elektriğe sahiptir. alanı (~Si 10 kat veya GaAs 5 kat) ve diğer olağanüstü özellikler.
Üçüncü nesil yarı iletken malzemeler esas olarak SiC, GaN, elmas vb. içerir, çünkü bant aralığı genişliği (Eg), geniş bant aralıklı yarı iletken malzemeler olarak da bilinen 2,3 elektron volta (eV) eşit veya daha büyüktür. Birinci ve ikinci nesil yarı iletken malzemelerle karşılaştırıldığında, üçüncü nesil yarı iletken malzemeler yüksek termal iletkenlik, yüksek arızalı elektrik alanı, yüksek doymuş elektron göç hızı ve yüksek bağlanma enerjisi gibi avantajlara sahiptir ve modern elektronik teknolojisinin yeni gereksinimlerini yüksek düzeyde karşılayabilir. sıcaklık, yüksek güç, yüksek basınç, yüksek frekans ve radyasyon direnci ve diğer zorlu koşullar. Milli savunma, havacılık, havacılık, petrol arama, optik depolama vb. alanlarda önemli uygulama potansiyeline sahip olup, geniş bant iletişim, güneş enerjisi, otomobil üretimi gibi birçok stratejik endüstride enerji kaybını %50'den fazla azaltabilir. yarı iletken aydınlatma ve akıllı şebeke gibi teknolojiler, ekipman hacmini %75'ten fazla azaltabilir; bu, insan bilimi ve teknolojisinin gelişimi için dönüm noktası niteliğindedir.
Semicera enerji, müşterilere yüksek kaliteli İletken (İletken), Yarı yalıtımlı (Yarı yalıtımlı), HPSI (Yüksek Saflıkta yarı yalıtımlı) silikon karbür alt tabaka; Ayrıca müşterilerimize homojen ve heterojen silisyum karbür epitaksiyel levhalar da sağlayabiliriz; Ayrıca epitaksiyel tabakayı müşterilerin özel ihtiyaçlarına göre özelleştirebiliriz ve minimum sipariş miktarı yoktur.
| Öğeler | Üretme | Araştırma | kukla |
| Kristal Parametreleri | |||
| Politip | 4H | ||
| Yüzey yönlendirme hatası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriksel Parametreler | |||
| katkı maddesi | n-tipi Azot | ||
| Direnç | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanik Parametreler | |||
| Çap | 150,0±0,2 mm | ||
| Kalınlık | 350±25 mikron | ||
| Birincil düz yönlendirme | [1-100]±5° | ||
| Birincil düz uzunluk | 47,5±1,5 mm | ||
| İkincil daire | Hiçbiri | ||
| TTV | ≤5 mikron | ≤10 mikron | ≤15 mikron |
| YBD | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çözgü | ≤35 mikron | ≤45 mikron | ≤55 mikron |
| Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Yapı | |||
| Mikro boru yoğunluğu | <1 adet/cm2 | <10 adet/cm2 | <15 adet/cm2 |
| Metal yabancı maddeleri | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 adet/cm2 | ≤3000 adet/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 adet/cm2 | ≤1000 adet/cm2 | NA |
| Ön Kalite | |||
| Ön | Si | ||
| Yüzey kalitesi | Si-yüzlü CMP | ||
| Parçacıklar | ≤60ea/wafer (boyut≥0,3μm) | NA | |
| çizikler | ≤5 adet/mm. Kümülatif uzunluk ≤Çap | Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA |
| Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik | Hiçbiri | NA | |
| Kenar talaşları/girintiler/kırık/altıgen plakalar | Hiçbiri | ||
| Çok tipli alanlar | Hiçbiri | Kümülatif alan≤%20 | Kümülatif alan≤30% |
| Ön lazer markalama | Hiçbiri | ||
| Arka Kalite | |||
| Arka kaplama | C-yüzlü CMP | ||
| çizikler | ≤5ea/mm, Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA | |
| Sırt kusurları (kenar talaşları/girintiler) | Hiçbiri | ||
| Sırt pürüzlülüğü | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Arka lazer markalama | 1 mm (üst kenardan) | ||
| Kenar | |||
| Kenar | Pah | ||
| Ambalajlama | |||
| Ambalajlama | Vakumlu paketleme ile epi-hazır Çoklu gofret kaset ambalajı | ||
| *Notlar: "NA" talep olmadığı anlamına gelir. Belirtilmeyen öğeler YARI-STD'ye atıfta bulunabilir. | |||
