Silisyum karbür (SiC) tek kristal malzeme, geniş bir bant aralığı genişliğine (~Si 3 kat), yüksek termal iletkenliğe (~Si 3,3 kat veya GaAs 10 kat), yüksek elektron doygunluğu göç hızına (~Si 2,5 kat), yüksek arızalı elektriğe sahiptir. alanı (~Si 10 kat veya GaAs 5 kat) ve diğer olağanüstü özellikler.
Semicera enerji, müşterilere yüksek kaliteli İletken (İletken), Yarı yalıtımlı (Yarı yalıtımlı), HPSI (Yüksek Saflıkta yarı yalıtımlı) silikon karbür alt tabaka; Ayrıca müşterilerimize homojen ve heterojen silisyum karbür epitaksiyel levhalar da sağlayabiliriz; Ayrıca epitaksiyel tabakayı müşterilerin özel ihtiyaçlarına göre özelleştirebiliriz ve minimum sipariş miktarı yoktur.
| Öğeler | Üretme | Araştırma | kukla |
| Kristal Parametreleri | |||
| Politip | 4H | ||
| Yüzey yönlendirme hatası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriksel Parametreler | |||
| katkı maddesi | n-tipi Azot | ||
| Direnç | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanik Parametreler | |||
| Çap | 99,5 - 100 mm | ||
| Kalınlık | 350±25 mikron | ||
| Birincil düz yönlendirme | [1-100]±5° | ||
| Birincil düz uzunluk | 32,5±1,5 mm | ||
| İkincil düz konum | Ana daireden 90° CW ±5°. silikon yüzü yukarı | ||
| İkincil düz uzunluk | 18±1,5 mm | ||
| TTV | ≤5 mikron | ≤10 mikron | ≤20 mikron |
| YBD | ≤2 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | NA |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çözgü | ≤20 mikron | ≤45 mikron | ≤50 mikron |
| Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Yapı | |||
| Mikro boru yoğunluğu | ≤1 adet/cm2 | ≤5 adet/cm2 | ≤10 adet/cm2 |
| Metal yabancı maddeleri | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 adet/cm2 | ≤3000 adet/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 adet/cm2 | ≤1000 adet/cm2 | NA |
| Ön Kalite | |||
| Ön | Si | ||
| Yüzey kalitesi | Si-yüzlü CMP | ||
| Parçacıklar | ≤60ea/wafer (boyut≥0,3μm) | NA | |
| çizikler | ≤2 adet/mm. Kümülatif uzunluk ≤Çap | Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA |
| Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik | Hiçbiri | NA | |
| Kenar talaşları/girintiler/kırık/altıgen plakalar | Hiçbiri | NA | |
| Çok tipli alanlar | Hiçbiri | Kümülatif alan≤%20 | Kümülatif alan≤30% |
| Ön lazer markalama | Hiçbiri | ||
| Arka Kalite | |||
| Arka kaplama | C-yüzlü CMP | ||
| çizikler | ≤5ea/mm, Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA | |
| Sırt kusurları (kenar talaşları/girintiler) | Hiçbiri | ||
| Sırt pürüzlülüğü | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Arka lazer markalama | 1 mm (üst kenardan) | ||
| Kenar | |||
| Kenar | Pah | ||
| Ambalajlama | |||
| Ambalajlama | İç torba nitrojenle doldurulur ve dış torba vakumlanır. Çoklu levha kaseti, epi-hazır. | ||
| *Notlar: "NA" talep olmadığı anlamına gelir. Belirtilmeyen öğeler YARI-STD'ye atıfta bulunabilir. | |||
