Semicera'nın 4 İnç Yüksek Saflıkta Yarı Yalıtımlı (HPSI) SiC Çift Taraflı Cilalı Gofret Yüzeyleri, yarı iletken endüstrisinin zorlu taleplerini karşılamak üzere üretilmiştir. Bu alt tabakalar olağanüstü düzlük ve saflıkla tasarlanmış olup son teknoloji ürünü elektronik cihazlar için en uygun platformu sunar.
Bu HPSI SiC levhalar, üstün ısı iletkenliği ve elektrik yalıtım özellikleriyle öne çıkıyor ve bu da onları yüksek frekanslı ve yüksek güçlü uygulamalar için mükemmel bir seçim haline getiriyor. Çift taraflı cilalama işlemi, cihazın performansını ve ömrünü artırmak için çok önemli olan minimum yüzey pürüzlülüğünü sağlar.
Semicera'nın SiC plakalarının yüksek saflığı, kusurları ve yabancı maddeleri en aza indirerek daha yüksek verim oranlarına ve cihaz güvenilirliğine yol açar. Bu alt tabakalar, mikrodalga cihazları, güç elektroniği ve LED teknolojileri dahil olmak üzere hassasiyet ve dayanıklılığın önemli olduğu çok çeşitli uygulamalar için uygundur.
Yenilik ve kaliteye odaklanan Semicera, modern elektroniğin zorlu gereksinimlerini karşılayan levhalar üretmek için ileri üretim tekniklerini kullanıyor. Çift taraflı cilalama yalnızca mekanik mukavemeti arttırmakla kalmaz, aynı zamanda diğer yarı iletken malzemelerle daha iyi entegrasyonu kolaylaştırır.
Üreticiler, Semicera'nın 4 İnç Yüksek Saflıkta Yarı Yalıtımlı HPSI SiC Çift Taraflı Cilalı Plaka Yüzeylerini seçerek gelişmiş termal yönetim ve elektrik yalıtımının avantajlarından yararlanarak daha verimli ve güçlü elektronik cihazların geliştirilmesinin önünü açabilir. Semicera, kaliteye ve teknolojik ilerlemeye olan bağlılığıyla sektöre liderlik etmeye devam ediyor.
| Öğeler | Üretme | Araştırma | kukla |
| Kristal Parametreleri | |||
| Politip | 4H | ||
| Yüzey yönlendirme hatası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriksel Parametreler | |||
| katkı maddesi | n-tipi Azot | ||
| Direnç | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanik Parametreler | |||
| Çap | 150,0±0,2 mm | ||
| Kalınlık | 350±25 mikron | ||
| Birincil düz yönlendirme | [1-100]±5° | ||
| Birincil düz uzunluk | 47,5±1,5 mm | ||
| İkincil daire | Hiçbiri | ||
| TTV | ≤5 mikron | ≤10 mikron | ≤15 mikron |
| YBD | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çözgü | ≤35 mikron | ≤45 mikron | ≤55 mikron |
| Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Yapı | |||
| Mikro boru yoğunluğu | <1 adet/cm2 | <10 adet/cm2 | <15 adet/cm2 |
| Metal yabancı maddeleri | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 adet/cm2 | ≤3000 adet/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 adet/cm2 | ≤1000 adet/cm2 | NA |
| Ön Kalite | |||
| Ön | Si | ||
| Yüzey kalitesi | Si-yüzlü CMP | ||
| Parçacıklar | ≤60ea/wafer (boyut≥0,3μm) | NA | |
| çizikler | ≤5 adet/mm. Kümülatif uzunluk ≤Çap | Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA |
| Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik | Hiçbiri | NA | |
| Kenar talaşları/girintiler/kırık/altıgen plakalar | Hiçbiri | ||
| Çok tipli alanlar | Hiçbiri | Kümülatif alan≤%20 | Kümülatif alan≤30% |
| Ön lazer markalama | Hiçbiri | ||
| Arka Kalite | |||
| Arka kaplama | C-yüzlü CMP | ||
| çizikler | ≤5ea/mm, Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA | |
| Sırt kusurları (kenar talaşları/girintiler) | Hiçbiri | ||
| Sırt pürüzlülüğü | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Arka lazer markalama | 1 mm (üst kenardan) | ||
| Kenar | |||
| Kenar | Pah | ||
| Ambalajlama | |||
| Ambalajlama | Vakumlu paketleme ile epi-hazır Çoklu gofret kaset ambalajı | ||
| *Notlar: "NA" talep olmadığı anlamına gelir. Belirtilmeyen öğeler YARI-STD'ye atıfta bulunabilir. | |||
