Semicera'nın10x10mm Polar Olmayan M-düzlem Alüminyum Yüzeygelişmiş optoelektronik uygulamaların zorlu gereksinimlerini karşılamak üzere titizlikle tasarlanmıştır. Bu alt tabaka, LED'ler ve lazer diyotlar gibi cihazlardaki polarizasyon etkilerini azaltmak için kritik öneme sahip olan ve performansın ve verimliliğin artmasına yol açan, polar olmayan bir M-düzlemi yönelimine sahiptir.
10x10mm Polar Olmayan M-düzlem Alüminyum YüzeyMinimum kusur yoğunluğu ve üstün yapısal bütünlük sağlayan olağanüstü kristal kalitesiyle üretilmiştir. Bu, onu yeni nesil optoelektronik cihazların geliştirilmesi için gerekli olan yüksek kaliteli III-nitrür filmlerin epitaksiyel büyümesi için ideal bir seçim haline getiriyor.
Semicera'nın hassas mühendisliği her birinin10x10mm Polar Olmayan M-düzlem Alüminyum YüzeyTekdüze film birikimi ve cihaz üretimi için çok önemli olan tutarlı kalınlık ve yüzey düzlüğü sunar. Ek olarak, alt tabakanın kompakt boyutu, onu hem araştırma hem de üretim ortamları için uygun hale getirerek çeşitli uygulamalarda esnek kullanıma olanak tanır. Mükemmel termal ve kimyasal stabilitesi ile bu alt tabaka, en son optoelektronik teknolojilerin geliştirilmesi için güvenilir bir temel sağlar.
| Öğeler | Üretme | Araştırma | kukla |
| Kristal Parametreleri | |||
| Politip | 4H | ||
| Yüzey yönlendirme hatası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriksel Parametreler | |||
| katkı maddesi | n-tipi Azot | ||
| Direnç | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Mekanik Parametreler | |||
| Çap | 150,0±0,2 mm | ||
| Kalınlık | 350±25 mikron | ||
| Birincil düz yönlendirme | [1-100]±5° | ||
| Birincil düz uzunluk | 47,5±1,5 mm | ||
| İkincil daire | Hiçbiri | ||
| TTV | ≤5 mikron | ≤10 mikron | ≤15 mikron |
| YBD | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çözgü | ≤35 mikron | ≤45 mikron | ≤55 mikron |
| Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Yapı | |||
| Mikro boru yoğunluğu | <1 adet/cm2 | <10 adet/cm2 | <15 adet/cm2 |
| Metal yabancı maddeleri | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 adet/cm2 | ≤3000 adet/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 adet/cm2 | ≤1000 adet/cm2 | NA |
| Ön Kalite | |||
| Ön | Si | ||
| Yüzey kalitesi | Si-yüzlü CMP | ||
| Parçacıklar | ≤60ea/wafer (boyut≥0,3μm) | NA | |
| çizikler | ≤5 adet/mm. Kümülatif uzunluk ≤Çap | Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA |
| Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik | Hiçbiri | NA | |
| Kenar talaşları/girintiler/kırık/altıgen plakalar | Hiçbiri | ||
| Çok tipli alanlar | Hiçbiri | Kümülatif alan≤%20 | Kümülatif alan≤30% |
| Ön lazer markalama | Hiçbiri | ||
| Arka Kalite | |||
| Arka kaplama | C-yüzlü CMP | ||
| çizikler | ≤5ea/mm, Kümülatif uzunluk≤2*Çap | NA | |
| Sırt kusurları (kenar talaşları/girintiler) | Hiçbiri | ||
| Sırt pürüzlülüğü | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Arka lazer markalama | 1 mm (üst kenardan) | ||
| Kenar | |||
| Kenar | Pah | ||
| Ambalajlama | |||
| Ambalajlama | Vakumlu paketleme ile epi-hazır Çoklu gofret kaset ambalajı | ||
| *Notlar: "NA" talep olmadığı anlamına gelir. Belirtilmeyen öğeler YARI-STD'ye atıfta bulunabilir. | |||
