Gofret taşıyıcısının tanıtımı
ÜRÜN KATEGORİSİ
▶PECVD & TALOX Prosesi için Gofret Taşıyıcı Sistem
• PECVD ve TALOX Grafit Tekne (M4~M12)
• Dikey SM-Tekne (M4, M6)
• İmplant ve duş Grafit Parçası (M4~M6)
• C/C Tepsisi ve Seramik Kaplama
• Metal RIE-Tepsi ve Seramik Kaplama
• Vakum Sızdırmazlık : O-Ring ve SQ-Ring
▶Tekstüre ve Islak Aşındırma Transfer Süreci
• LSC H-Taşıyıcı veya kaset (M4~M12)
• LSC V-Taşıyıcı veya kaset (M4~M12)
• ASC Taşıyıcı veya kaset (M4, M6)
• W/F Taşıyıcı ve Saklama Kutusu (M4~M12)
• Taşıma Tekerleği (Makaralı) Serisi
▶Güneş Pili Taşıyıcı ve Metal Taşıyıcı
• TRC Taşıyıcı veya kaset (M4~M12)
• Şarjör (KEMERLİ)
GRAFİT TEKNE (H-Tipi)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFİT TEKNE (H-Tipi)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFİT TEKNE (H-Tipi)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
GRAFİT TEKNE (H-Tipi)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFİT TEKNE (H-Tipi)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF TAŞIYICI VE SAKLAMA KUTUSU (~M12)
C/C TEPSİ veya TAŞIYICI(M4~M10)
C/C TEPSİ veya TAŞIYICI(M4~M10)
DİKEY TEKNE (SM) M6
LSC-H-TAŞIYICI(~M12)
LSC-V-TAŞIYICI(~M12)
ASC TAŞIYICI (~M6)
TRC TAŞIYICI(~M12)
TRC TAŞIYICI(~M12)
GRAFİT-TEKNE(M12)
PECVD Prosesi için Gofret Taşıyıcı Sistem
▶ GRAFİT TEKNE (CT-Tasarımlı) M10/M12 Prosesi
• ÖZEL TASARIM KONSEPTİ
▶ GRAFİT TEKNE (CT-Tasarımlı) M4/M6 Prosesi
▶ TEKNE Aksesuar Parçaları
▶ DİKEY TEKNE-161.7mm GOFRET
▶ DİKEY TEKNE-166mm GOFRET
▶ DİKEY TEKNE-161,7mm, 166mm GOFRET
Güneş Pili Taşıyıcı & Metal TRC Taşıyıcı
TİP : Otomasyon
GOFRET BOYUTU: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
KULLANIM : Taşıma (Kaset)
KAPASİTE : 100 sayfa
Aralık: 4,76MM/5,953mm/6,35mm
BOYUT: Yaklaşık 559×220×220MM
Yaklaşık 712×260×260MM
AVANTAJI: Atmosfer
MALZEME : ALEV,YAN ÇUBUK-Alüminyum (eloksal)
YAN PLAKA-POM (Antistatik)
Alt çıta kapağı-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL TAŞIYICI (KULLANICI HATTI)
TRC-METAL TAŞIYICI (KULLANICI HATTI)
TRC-METAL TAŞIYICI (KULLANICI HATTI)
DUŞ PLAKASI & İMPLANT, TAŞIYICI
