Haddeleme, bir silikon tek kristal çubuğun dış çapının, bir elmas taşlama çarkı kullanılarak gerekli çapta tek bir kristal çubuğa taşlanması ve tek kristal çubuğun düz kenarlı bir referans yüzeyinin veya konumlandırma oluğunun taşlanması işlemini ifade eder.
Tek kristal fırın tarafından hazırlanan tek kristal çubuğun dış çap yüzeyi pürüzsüz ve düz değildir ve çapı, son uygulamada kullanılan silikon levhanın çapından daha büyüktür. Dış çapı yuvarlayarak gerekli çubuk çapı elde edilebilir.
Haddehane, silikon tek kristal çubuğun düz kenar referans yüzeyini taşlama veya konumlandırma oluğunu taşlama, yani gerekli çapta tek kristal çubuk üzerinde yön testi gerçekleştirme işlevine sahiptir. Aynı haddehane ekipmanında, tek kristal çubuğun düz kenar referans yüzeyi veya konumlandırma oluğu taşlanmıştır. Genel olarak, çapı 200 mm'den küçük olan tek kristal çubuklar, düz kenarlı referans yüzeyleri kullanır ve çapı 200 mm ve üzeri olan tek kristal çubuklar, konumlandırma oluklarını kullanır. 200 mm çapında tek kristal çubuklar ihtiyaç halinde düz kenarlı referans yüzeyleriyle de yapılabilir. Tek kristal çubuk oryantasyon referans yüzeyinin amacı, entegre devre imalatında proses ekipmanının otomatik konumlandırma işleminin ihtiyaçlarını karşılamaktır; üretim yönetimini kolaylaştırmak amacıyla silikon levhanın vb. kristal yönelimini ve iletkenlik tipini belirtmek; ana konumlandırma kenarı veya konumlandırma oluğu <110> yönüne diktir. Talaş paketleme işlemi sırasında, dilimleme işlemi gofretin doğal olarak bölünmesine neden olabilir ve konumlandırma aynı zamanda parçaların oluşmasını da önleyebilir.
Yuvarlama işleminin ana amaçları şunlardır: Yüzey kalitesinin iyileştirilmesi: Yuvarlama, silikon levhaların yüzeyindeki çapakları ve pürüzleri giderebilir ve sonraki fotolitografi ve aşındırma işlemleri için çok önemli olan silikon levhaların yüzey düzgünlüğünü iyileştirebilir. Stresin azaltılması: Silikon plakaların kesilmesi ve işlenmesi sırasında stres oluşabilir. Yuvarlama, bu gerilimlerin ortadan kaldırılmasına yardımcı olabilir ve silikon plakaların sonraki işlemlerde kırılmasını önleyebilir. Silikon levhaların mekanik mukavemetinin arttırılması: Yuvarlama işlemi sırasında silikon levhaların kenarları daha pürüzsüz hale gelecektir, bu da silikon levhaların mekanik mukavemetinin artmasına ve taşıma ve kullanım sırasında hasarın azaltılmasına yardımcı olacaktır. Boyutsal doğruluğun sağlanması: Yuvarlama yoluyla, yarı iletken cihazların üretimi için çok önemli olan silikon levhaların boyutsal doğruluğu sağlanabilir. Silikon levhaların elektriksel özelliklerinin iyileştirilmesi: Silikon levhaların kenar işlemlerinin elektriksel özellikleri üzerinde önemli bir etkisi vardır. Yuvarlama, kaçak akımı azaltmak gibi silikon levhaların elektriksel özelliklerini iyileştirebilir. Estetik: Silikon levhaların kenarları yuvarlatıldıktan sonra daha pürüzsüz ve daha güzel hale gelir; bu da belirli uygulama senaryoları için gereklidir.
Gönderim zamanı: Temmuz-30-2024