Fotorezist: yarı iletkenler için yüksek giriş engellerine sahip çekirdek malzemesi

Fotorezist (1)

 

 

Fotorezist şu anda optoelektronik bilgi endüstrisinde ince grafik devrelerin işlenmesinde ve üretiminde yaygın olarak kullanılmaktadır. Fotolitografi işleminin maliyeti, tüm çip üretim sürecinin yaklaşık %35'ini oluşturur ve zaman tüketimi, tüm çip işleminin %40 ila %60'ını oluşturur. Yarı iletken üretiminde temel süreçtir. Fotorezist malzemeler, çip üretim malzemelerinin toplam maliyetinin yaklaşık %4'ünü oluşturur ve yarı iletken entegre devre üretiminin temel malzemeleridir.

 

Çin'in fotorezist pazarının büyüme oranı uluslararası seviyenin üzerindedir. Prospektif Endüstri Araştırma Enstitüsü'nün verilerine göre, ülkemin yerel fotorezist arzı 2019'da yaklaşık 7 milyar yuan idi ve 2010'dan bu yana bileşik büyüme oranı %11'e ulaştı, bu da küresel büyüme oranının çok üzerinde. Bununla birlikte, yerel tedarik küresel payın yalnızca %10'unu oluşturuyor ve yerel ikame esas olarak düşük kaliteli PCB fotorezistleri için sağlandı. LCD ve yarı iletken alanlardaki fotorezistlerin kendi kendine yeterlilik oranı son derece düşüktür.

 

Fotorezist, maske desenini alt tabakaya aktarmak için ışık reaksiyonundan sonra farklı çözünürlük kullanan bir grafik aktarım ortamıdır. Esas olarak ışığa duyarlı ajan (foto başlatıcı), polimerizatör (ışığa duyarlı reçine), solvent ve katkı maddesinden oluşur.

 

Fotorezistin hammaddeleri esas olarak reçine, solvent ve diğer katkı maddeleridir. Bunların arasında solvent, genellikle %80'den fazla, en büyük oranı oluşturur. Diğer katkı maddeleri kütlenin %5'inden daha azını oluştursa da bunlar, ışığa duyarlılaştırıcılar, yüzey aktif maddeler ve diğer malzemeler dahil olmak üzere fotorezistin benzersiz özelliklerini belirleyen temel malzemelerdir. Fotolitografi işleminde fotorezist, silikon plakalar, cam ve metal gibi farklı alt tabakalar üzerine eşit şekilde kaplanır. Maruz bırakma, geliştirme ve aşındırma sonrasında maske üzerindeki desen, maskeye tamamen karşılık gelen geometrik bir desen oluşturacak şekilde filme aktarılır.

 

 Fotorezist (4)

Fotorezist, alt uygulama alanlarına göre üç kategoriye ayrılabilir: yarı iletken fotorezist, panel fotorezist ve PCB fotorezist.

 

Yarı iletken fotorezist

 

Şu anda KrF/ArF hala ana işleme malzemesidir. Entegre devrelerin gelişmesiyle birlikte fotolitografi teknolojisi, G-line (436nm) litografi, H-line (405nm) litografi, I-line (365nm) litografiden derin ultraviyole DUV litografiye (KrF248nm ve ArF193nm), 193nm daldırma artı çoklu görüntüleme teknolojisi (32nm-7nm) ve daha sonra aşırı ultraviyole (EUV, <13.5nm) litografiye ve hatta optik olmayan litografiye (elektron ışınına maruz kalma, iyon ışınına maruz kalma) ve ışığa duyarlı dalga boyları olarak karşılık gelen dalga boylarına sahip çeşitli fotodirenç türleri de uygulanmıştır.

 

Fotorezist pazarı yüksek derecede endüstri yoğunlaşmasına sahiptir. Japon şirketleri yarı iletken fotorezistler alanında mutlak bir avantaja sahiptir. Ana yarı iletken fotorezist üreticileri arasında Japonya'daki Tokyo Ohka, JSR, Sumitomo Chemical, Shin-Etsu Chemical; Güney Kore'de Dongjin Semiconductor; ve aralarında Japon şirketlerinin pazar payının yaklaşık %70'ini işgal ettiği Amerika Birleşik Devletleri'ndeki DowDuPont. Ürünler açısından Tokyo Ohka, g-line/i-line ve Krf fotorezistleri alanlarında sırasıyla %27,5 ve %32,7 pazar paylarıyla lider konumdadır. JSR, Arf fotorezist alanında %25,6 ile en yüksek pazar payına sahiptir.

 

Fuji Economic tahminlerine göre, küresel ArF ve KrF tutkal üretim kapasitesinin 2023 yılında yaklaşık 4,9 milyar ve 2,8 milyar yuan pazar büyüklüğüyle 1.870 ve 3.650 tona ulaşması bekleniyor. Japon fotorezist liderleri JSR ve TOK'un, fotorezist de dahil olmak üzere brüt kar marjı yaklaşık %40'tır ve bunun yaklaşık %90'ını fotorezist hammaddelerinin maliyeti oluşturur.

 

Yerli yarı iletken fotorezist üreticileri arasında Shanghai Xinyang, Nanjing Optoelectronics, Jingrui Co., Ltd., Beijing Kehua ve Hengkun Co., Ltd. bulunmaktadır. Şu anda yalnızca Beijing Kehua ve Jingrui Co., Ltd., KrF fotorezisti seri üretme yeteneğine sahiptir. ve Beijing Kehua'nın ürünleri SMIC'e tedarik edildi. Şangay Xinyang'da inşaatı devam eden 19.000 ton/yıl kapasiteli ArF (kuru proses) fotorezist projesinin 2022 yılında tam üretime ulaşması bekleniyor.

 

 Fotorezist (3)

  

Panel fotorezist

 

Fotorezist, LCD panel üretimi için önemli bir malzemedir. Farklı kullanıcılara göre RGB yapıştırıcı, BM yapıştırıcı, OC yapıştırıcı, PS yapıştırıcı, TFT yapıştırıcı vb. olarak ayrılabilir.

 

Panel fotorezistler temel olarak dört kategoriden oluşur: TFT kablolama fotorezistleri, LCD/TP aralayıcı fotorezistler, renkli fotorezistler ve siyah fotorezistler. Bunların arasında, ITO kablolaması için TFT kablolama fotorezistleri kullanılır ve LCD/TP yağış fotorezistleri, LCD'nin iki cam alt tabakası arasındaki sıvı kristal malzemenin kalınlığını sabit tutmak için kullanılır. Renkli fotorezistler ve siyah fotorezistler, renk filtrelerine renk oluşturma işlevleri verebilir.

 

Panel fotorezist pazarının istikrarlı olması gerekiyor ve renkli fotorezistlere olan talep ön planda. 2022 yılında küresel satışların 22.900 tona, satışların ise 877 milyon ABD dolarına ulaşması bekleniyor.

 

TFT panel fotorezistlerin, LCD/TP spacer fotorezistlerin ve siyah fotorezistlerin satışlarının 2022'de sırasıyla 321 milyon ABD Doları, 251 milyon ABD Doları ve 199 milyon ABD Doları'na ulaşması bekleniyor. Zhiyan Consulting'in tahminlerine göre küresel panel fotorezist pazar büyüklüğü şuna ulaşacak: 2020'de yaklaşık %4'lük bir büyüme oranıyla 16,7 milyar RMB. Tahminlerimize göre fotorezist pazarı 2025 yılına kadar 20,3 milyar RMB'ye ulaşacak. Bunlar arasında LCD endüstri merkezinin devredilmesiyle birlikte ülkemdeki LCD fotorezist pazar büyüklüğünün ve yerelleşme oranının giderek artması bekleniyor.

 Fotorezist (5)

 

 

PCB fotorezisti

 

PCB fotorezisti, kaplama yöntemine göre UV kürleme mürekkebi ve UV sprey mürekkebine ayrılabilir. Şu anda yerli PCB mürekkep tedarikçileri yavaş yavaş yerli ikameyi başardılar ve Rongda Photo sensitive ve Guangxin Materials gibi şirketler PCB mürekkebinin temel teknolojilerinde uzmanlaştı.

 

Yerli TFT fotorezist ve yarı iletken fotorezist hala başlangıç ​​aşamasındadır. Jingrui Co., Ltd., Yak Technology, Yongtai Technology, Rongda Photo sensitive, Xinyihua, China Electronics Rainbow ve Feikai Materials'ın tümü TFT fotorezist alanında düzenlere sahiptir. Bunlar arasında Feikai Materials ve Beixu Electronics, 5.000 ton/yıl'a kadar üretim kapasitesi planladı. Yak Technology, LG Chem'in renkli fotorezist bölümünü satın alarak bu pazara girmiştir ve kanal ve teknoloji açısından avantajlara sahiptir.

 

Fotorezist gibi teknik engelleri son derece yüksek olan endüstriler için, teknik düzeyde atılımlar gerçekleştirmek temeldir ve ikinci olarak, yarı iletken endüstrisinin hızlı gelişiminin ihtiyaçlarını karşılamak için süreçlerin sürekli iyileştirilmesi gerekmektedir.

Ürün bilgisi ve danışmanlık için web sitemize hoş geldiniz.

https://www.semi-cera.com/


Gönderim zamanı: Kasım-27-2024