Yarı iletken üretiminde kullanılan ince filmlerin tümü dirençlidir ve film direnci cihazın performansı üzerinde doğrudan etkiye sahiptir. Genellikle filmin mutlak direncini ölçmüyoruz, ancak onu karakterize etmek için tabaka direncini kullanıyoruz.
Sac direnci ve hacim direnci nedir?
Hacim direnci olarak da bilinen hacim direnci, malzemenin elektrik akımı akışını ne kadar engellediğini karakterize eden malzemenin doğal bir özelliğidir. Yaygın olarak kullanılan sembol ρ, birimi Ω'dur.
Levha direnci olarak da bilinen levha direnci, İngilizce adı levha direnci olup, filmin birim alan başına direnç değerini ifade eder. İfade etmek için yaygın olarak Rs veya ρs sembolleri kullanılır; birimi Ω/sq veya Ω/□'dır.
İkisi arasındaki ilişki şu şekildedir: tabaka direnci = hacim direnci/film kalınlığı, yani Rs =ρ/t
Sac direncini neden ölçmeliyiz?
Bir filmin mutlak direncinin ölçülmesi, filmin geometrik boyutları (uzunluk, genişlik, kalınlık) hakkında kesin bilgi gerektirir; bu boyut, birçok değişkene sahiptir ve çok ince veya düzensiz şekilli filmler için çok karmaşıktır. Levha direnci yalnızca filmin kalınlığıyla ilgilidir ve karmaşık boyut hesaplamaları olmadan hızlı ve doğrudan test edilebilir.
Hangi filmlerin tabaka direncini ölçmesi gerekiyor?
Genel olarak iletken filmlerin ve yarı iletken filmlerin kare direnç açısından ölçülmesi gerekirken, yalıtkan filmlerin ölçülmesine gerek yoktur.
Yarı iletken katkılamada silikonun tabaka direnci de ölçülür.
Kare direnci nasıl ölçülür?
Endüstride genellikle dört prob yöntemi kullanılmaktadır. Dört problu yöntem, 1E-3 ile 1E+9Ω/sq arasında değişen kare direnci ölçebilir. Dört prob yöntemi, prob ile numune arasındaki temas direncinden kaynaklanan ölçüm hatalarını önleyebilir.
Ölçüm yöntemleri:
1) Numunenin yüzeyine doğrusal olarak düzenlenmiş dört prob yerleştirin.
2) İki dış prob arasına sabit bir akım uygulayın.
3) İki dahili prob arasındaki potansiyel farkı ölçerek direnci belirleyin.
RS : tabaka direnci
ΔV: Dahili problar arasında ölçülen voltaj değişimi
I : Dış problar arasına uygulanan akım
Gönderim zamanı: Mar-29-2024