Silisyum Karbür Seramiklerin Yarı İletken Alanında Uygulanması

Yarı iletkenler:

Yarı iletken endüstrisi, "bir nesil teknoloji, bir nesil süreç ve bir nesil ekipman" şeklindeki endüstriyel yasayı takip eder ve yarı iletken ekipmanın yükseltilmesi ve yinelenmesi büyük ölçüde hassas parçaların teknolojik atılımına bağlıdır. Bunlar arasında hassas seramik parçalar, kimyasal buhar biriktirme, fiziksel buhar biriktirme, iyon implantasyonu ve aşındırma gibi bir dizi önemli yarı iletken üretim bağlantısında önemli uygulamalara sahip olan, en temsili yarı iletken hassas parça malzemeleridir. Rulmanlar, kılavuz raylar, astarlar, elektrostatik aynalar, mekanik taşıma kolları vb. Özellikle ekipman boşluğunun içinde destek, koruma ve saptırma rolünü oynar.

640

2023'ten bu yana, Hollanda ve Japonya da art arda kontrole ilişkin yeni düzenlemeler veya dış ticaret kararnameleri yayınlayarak, litografi makineleri de dahil olmak üzere yarı iletken ekipmanlar için ihracat lisansı düzenlemeleri ekledi ve yarı iletken küreselleşme karşıtı eğilim yavaş yavaş ortaya çıktı. Tedarik zincirinin bağımsız kontrolünün önemi giderek daha belirgin hale geldi. Yarı iletken ekipman parçalarının yerelleştirilmesi talebiyle karşı karşıya kalan yerli şirketler, endüstriyel gelişmeyi aktif olarak teşvik ediyor. Zhongci Electronics, yerli yarı iletken ekipman endüstrisinin "darboğaz" sorununu çözerek ısıtma plakaları ve elektrostatik aynalar gibi yüksek teknolojili hassas parçaların yerelleştirilmesini gerçekleştirdi; SiC kaplı grafit tabanlar ve SiC gravür halkalarının önde gelen yerli tedarikçisi Dezhi New Materials, 100 milyon yuan vb. tutarında bir finansmanı başarıyla tamamladı…..
Yüksek iletkenliğe sahip silikon nitrür seramik yüzeyler:

Silisyum nitrür seramik substratlar esas olarak saf elektrikli araçların (EV'ler) ve hibrit elektrikli araçların (HEV'ler) güç ünitelerinde, yarı iletken cihazlarında ve invertörlerinde kullanılır ve büyük pazar potansiyeline ve uygulama beklentilerine sahiptir.

640 (1)

Şu anda ticari uygulamalara yönelik yüksek termal iletkenliğe sahip silikon nitrür seramik substrat malzemeleri, ≥85 W/(m·K), bükülme mukavemeti ≥650MPa ve kırılma dayanıklılığı 5~7MPa·m1/2 gerektirir. Gerçek anlamda yüksek ısı iletkenliğine sahip silikon nitrür seramik yüzeyleri seri üretme yeteneğine sahip olan şirketler çoğunlukla Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa ve Japan Fine Ceramics'tir.

Silikon nitrür seramik substrat malzemeleri üzerine yurt içi araştırmalar da bir miktar ilerleme kaydetti. Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd.'nin Pekin Şubesi'nin bant döküm işlemiyle hazırlanan silikon nitrür seramik substratın termal iletkenliği 100 W/(m·K)'dir; Beijing Sinoma Yapay Kristal Araştırma Enstitüsü Co., Ltd., 700-800MPa bükülme mukavemetine, ≥8MPa·m1/2 kırılma dayanıklılığına ve ≥80W/(m·K) termal iletkenliğe sahip bir silikon nitrür seramik substratı başarıyla hazırladı. Sinterleme yöntemini ve sürecini optimize ederek.


Gönderim zamanı: 29 Ekim 2024